用于拼接干涉仪的五维运动台测试

高运动精度、高稳定性的多维运动台是拼接干涉仪必不可少的组成部分,因此运动台精度和稳定性直接影响拼接干涉仪的测量精度。通过激光干涉测量系统测量了五维运动台的行程、分辨率。运用频谱实验测量了五维运动台的模态。利用面形测量干涉仪,通过干涉条纹移动测试了五维运动台长时间工作中的漂移,为拼接干涉仪的研制提供了重要依据。

应用于平板显示器检测的高精度五维运动台

五维运动台是检测平板显示器亮度、色度、均匀性及视角等性能指标的重要仪器设备,针对目前该类产品国产产品控制精度低、故障率高、功能不全,而进口产品价格昂贵的情况,采用了测量点偏移量补偿、PC机与多单片机通信、单片机定时器可逆计数、动态链接库等软硬件技术对原有国产五维运动台进行改进。改进后的五维运动台运行稳定可靠,测量精度高,完全可以满足平板显示器的检测要求。