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题名亚微米氮化钛膜的纳米压痕和划痕测定
被引量:9
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作者
张泰华
郇勇
王秀兰
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机构
中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室
航天材料及工艺研究所
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出处
《力学学报》
EI
CSCD
北大核心
2003年第4期498-502,共5页
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基金
国家自然科学基金(10242001和10172086)
中国科学院知识创新工程重要方向资助项目(KJCX2-SW-L2)~~
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文摘
采用等离子电弧沉积的方法,分别在GT35和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.5μm的氮化钛(TiN)膜。为了筛选基材,采用纳米压痕和划痕技术,评价膜基界面结合和固体润滑效果。纳米压痕结果,GT35,40CrNiMo和TiN的纳米硬度/弹性模量的典型值分别约为11.5GPa/330GPa,6.0GPa/210GPa,30GPa/450GPa。纳米划痕结果,GT35有较理想的膜基结合能力;GT35,40CrNiMo,TiN及其有机膜的摩擦系数分别约为0.25,0.45,0.15,0.10。同40CrNiMo相比,GT35是较为理想的基体材料。纳米压痕和划痕技术能提供丰富的近表面的弹塑性变形、断裂和摩擦等的信息,是评价亚微米薄膜力学性能的有效手段。
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关键词
纳米压痕
纳米划痕
力学性能
摩擦性能
亚微米氮化钛膜
等离子电弧沉积
弹塑性变形
断裂
测定
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Keywords
nanoindentation, nanoscratch, titanium nitride, mechanical properties, tribological properties
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分类号
O484.2
[理学—固体物理]
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
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