MEMS结构的实体建模和分析

在集成电路制造业中,随着技术的发展,实体建模工具将不仅仅局限于帮助MEMS(Microelectromechanical System)设计师简化设计流程,充分利用有限元工具软件进行分析将是发展的趋势。因此,选择合适的实体建模工具对于MEMS设计能否取得成功是至关重要的。SolidWorks除了可以进行MEMS结构设计(在过程中可以进行分析并生成掩膜)外,还可以设计所有相关的产品封装和装配设备,下面就对SolidWorks 3D建模软件在MEMS设计方面的优势做一些介绍。