亚波长金属周期结构中表面等离子体相关机理和应用

研究了一种新型的有表面凹槽的亚波长金属光栅结构,通过改变表面凹槽填充物的折射率,可调控该结构的远场透射效率,在光学探测、生物传感等方面具有应用前景;结合金属波导理论,提出一种基于亚波长金属光栅波导结构的新型超分辨光刻方案,入射光波长为436nm时,最高刻写分辨率可达34 nm。