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亚纳米皮米激光干涉位移测量技术与仪器
被引量:
1
1
作者
林雄磊
苏晓博
+2 位作者
王嘉宁
孙云科
胡鹏程
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2023年第3期253-262,共10页
激光干涉位移测量技术因具有大量程、高分辨力、非接触式及可溯源性等特点,成为当前与下一代高端装备、超精密计量的基础性技术之一。在简要介绍国内外现有的各类亚纳米级激光干涉仪的基础上,重点从“精”“准”“快”方面综述了面向亚...
激光干涉位移测量技术因具有大量程、高分辨力、非接触式及可溯源性等特点,成为当前与下一代高端装备、超精密计量的基础性技术之一。在简要介绍国内外现有的各类亚纳米级激光干涉仪的基础上,重点从“精”“准”“快”方面综述了面向亚纳米、皮米级激光干涉位移测量技术的研究成果。首先,从激光干涉测量原理出发,分析了限制激光干涉仪中测量分辨力、速度等进一步提升的主要误差项及技术难点;其次,重点列举了近年来国内外在激光器高精度稳频、高精度干涉镜组、高速/高分辨力相位细分技术、环境补偿与控制等方面所取得的重大关键技术突破;最后,对下一代超精密激光干涉位移测量技术的发展趋势进行了总结与展望。
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关键词
激光干涉仪
亚纳米与皮米测量
激光稳频
信号处理
原文传递
题名
亚纳米皮米激光干涉位移测量技术与仪器
被引量:
1
1
作者
林雄磊
苏晓博
王嘉宁
孙云科
胡鹏程
机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
超精密仪器技术及智能化工信部重点实验室
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2023年第3期253-262,共10页
文摘
激光干涉位移测量技术因具有大量程、高分辨力、非接触式及可溯源性等特点,成为当前与下一代高端装备、超精密计量的基础性技术之一。在简要介绍国内外现有的各类亚纳米级激光干涉仪的基础上,重点从“精”“准”“快”方面综述了面向亚纳米、皮米级激光干涉位移测量技术的研究成果。首先,从激光干涉测量原理出发,分析了限制激光干涉仪中测量分辨力、速度等进一步提升的主要误差项及技术难点;其次,重点列举了近年来国内外在激光器高精度稳频、高精度干涉镜组、高速/高分辨力相位细分技术、环境补偿与控制等方面所取得的重大关键技术突破;最后,对下一代超精密激光干涉位移测量技术的发展趋势进行了总结与展望。
关键词
激光干涉仪
亚纳米与皮米测量
激光稳频
信号处理
Keywords
laser interferometer
subnanometer and picometer measurements
laser frequency stabilization
signal processing
分类号
TN243 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
亚纳米皮米激光干涉位移测量技术与仪器
林雄磊
苏晓博
王嘉宁
孙云科
胡鹏程
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2023
1
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参考文献
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