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高k栅介质GeOI金属氧化物半导体场效应管阈值电压和亚阈斜率模型及其器件结构设计
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作者 范敏敏 徐静平 +2 位作者 刘璐 白玉蓉 黄勇 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期385-393,共9页
通过求解沟道与埋氧层的二维泊松方程,同时考虑垂直沟道与埋氧层方向的二阶效应,建立了高κ栅介质GeOI金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)的阈值电压和亚阈斜率解析模型,研究了器件主要结构参数对器件阈值特性、亚阈特性、短沟道效应、... 通过求解沟道与埋氧层的二维泊松方程,同时考虑垂直沟道与埋氧层方向的二阶效应,建立了高κ栅介质GeOI金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)的阈值电压和亚阈斜率解析模型,研究了器件主要结构参数对器件阈值特性、亚阈特性、短沟道效应、漏极感应势垒降低效应及衬偏效应的影响,提出了优化器件性能的结构参数设计原则及取值范围,模拟结果与TCAD仿真结果符合较好,证实了模型的正确性与实用性。 展开更多
关键词 GEOI MOSFET 值电压 亚阈斜率 短沟道效应
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高k栅介质MOSFET电特性的模拟分析 被引量:2
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作者 陈卫兵 徐静平 +2 位作者 邹晓 李艳萍 赵寄 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期417-421,共5页
对高k栅介质MOSFET栅极漏电进行研究 ,确定栅介质的厚度 ,然后使用PISCES Ⅱ模拟器对高k栅介质MOSFET的阈值电压、亚阈斜率和Idsat/Ioff进行了详细的分析研究。通过对不同k值的MOSFET栅极漏电、阈值电压、亚阈斜率和Idsat/Ioff的综合考... 对高k栅介质MOSFET栅极漏电进行研究 ,确定栅介质的厚度 ,然后使用PISCES Ⅱ模拟器对高k栅介质MOSFET的阈值电压、亚阈斜率和Idsat/Ioff进行了详细的分析研究。通过对不同k值的MOSFET栅极漏电、阈值电压、亚阈斜率和Idsat/Ioff的综合考虑 ,得出选用k <5 0且Tk/L≤ 0 .2的栅介质能获得优良的小尺寸MOSFET电性能。 展开更多
关键词 高K栅介质 金属-氧化物-半导体场效应晶体管 值电压 亚阈斜率
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超薄高k栅介质Ge-pMOSFET的电特性研究
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作者 陈娟娟 徐静平 陈卫兵 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期575-579,共5页
采用MEDICI模拟器,对高k栅介质Ge-pMOSFET的电特性进行了研究。通过考虑短沟道效应和边缘场效应,着重分析了栅介质介电常数、氧化物固定电荷密度以及沟道长度等对器件阈值电压和亚阈斜率的影响,研究认为:为获得优良的电性能,栅介质的k... 采用MEDICI模拟器,对高k栅介质Ge-pMOSFET的电特性进行了研究。通过考虑短沟道效应和边缘场效应,着重分析了栅介质介电常数、氧化物固定电荷密度以及沟道长度等对器件阈值电压和亚阈斜率的影响,研究认为:为获得优良的电性能,栅介质的k值需小于50,固定电荷面密度至少应在1.0×1012cm-2以下。 展开更多
关键词 Ge-pMOSFET 高K栅介质 超薄栅介质 亚阈斜率
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A Novel Fully-Depleted Dual-Gate MOSFET
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作者 张国和 邵志标 +1 位作者 韩彬 刘德瑞 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1359-1363,共5页
A novel fully-depleted dual-gate MOSFET with a hetero-material gate and a lightly-doped drain is proposed. The hetero-material gate, which consists of a main gate and two side-gates,is used to control the surface pote... A novel fully-depleted dual-gate MOSFET with a hetero-material gate and a lightly-doped drain is proposed. The hetero-material gate, which consists of a main gate and two side-gates,is used to control the surface potential distribution. The fabrication process and the device characteristics are simulated with Tsuprem-4 and Medici separately. Compared to a common DG fully depleted SO1 MOSFET,the proposed device has much higher on/off current ratio and superior sub-threshold slope. The on/off current ratio is about 10^10 and the sub-threshold slope is nearly 60mV/dec under a 0.18μm process. 展开更多
关键词 hetero-material gate on/off current ratio sub-threshold slope SOI FET
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NO退火对并五苯有机薄膜晶体管特性的改善
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作者 陈卫兵 徐静平 +1 位作者 邹豪杰 李长云 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期66-69,共4页
采用N2和NO退火处理高温(1100℃)干氧氧化SiO2薄膜,并在高真空蒸发并五苯(Pentacene)有机半导体层制备了有机薄膜晶体管(OTFT).通过测量OTFT器件的输出特性、转移特性和通断比,分析N2和NO气体退火SiO2对OTFT器件性能的影响.结果表明:在N... 采用N2和NO退火处理高温(1100℃)干氧氧化SiO2薄膜,并在高真空蒸发并五苯(Pentacene)有机半导体层制备了有机薄膜晶体管(OTFT).通过测量OTFT器件的输出特性、转移特性和通断比,分析N2和NO气体退火SiO2对OTFT器件性能的影响.结果表明:在NO气体中退火的器件有较好的阈值电压、亚阈斜率、通断比和较高的稳定性. 展开更多
关键词 有机薄膜晶体管 退火 并五苯 值电压 亚阈斜率
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