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一种MEMS电场传感器宽频带电场检测方法
1
作者
张洲威
夏善红
+6 位作者
彭春荣
郑凤杰
刘俊
刘向明
高雅浩
彭思敏
邢学斌
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2023年第7期1-7,共7页
基于MEMS(微电子机械系统)技术的微型电场传感器凭借其体积小、功耗低、可批量化制造等优点,在诸多领域得到广泛应用。MEMS电场传感器可用于静电场与交流电场检测,但目前存在电场检测频率范围较窄、测量不同频率电场灵敏度不一致的问题...
基于MEMS(微电子机械系统)技术的微型电场传感器凭借其体积小、功耗低、可批量化制造等优点,在诸多领域得到广泛应用。MEMS电场传感器可用于静电场与交流电场检测,但目前存在电场检测频率范围较窄、测量不同频率电场灵敏度不一致的问题。对此,根据对传感器输出信号的系统性分析,提出了一种适用于宽频域电场检测的方法。理论上,在不考虑放大电路带宽限制和信号饱和的情况下,该方法检测的电场频率没有上限,并且对不同频率电场的检测灵敏度一致。实验结果显示:用该方法检测0~7 kHz频率范围内的电场,具有良好的线性度和准确度,传感器的灵敏度保持了很好的一致性,验证了该方法的合理性。
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关键词
电
场
传感器
交/直流电场检测
宽频带
灵敏度
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职称材料
题名
一种MEMS电场传感器宽频带电场检测方法
1
作者
张洲威
夏善红
彭春荣
郑凤杰
刘俊
刘向明
高雅浩
彭思敏
邢学斌
机构
中国科学院空天信息创新研究院
中国科学院大学电子电气与通信工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2023年第7期1-7,共7页
基金
国家自然科学基金项目(61971398,62031025)
国家重点研发计划资助项目(2021YFB2011700)
中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20200026,GJJSTD20210004)。
文摘
基于MEMS(微电子机械系统)技术的微型电场传感器凭借其体积小、功耗低、可批量化制造等优点,在诸多领域得到广泛应用。MEMS电场传感器可用于静电场与交流电场检测,但目前存在电场检测频率范围较窄、测量不同频率电场灵敏度不一致的问题。对此,根据对传感器输出信号的系统性分析,提出了一种适用于宽频域电场检测的方法。理论上,在不考虑放大电路带宽限制和信号饱和的情况下,该方法检测的电场频率没有上限,并且对不同频率电场的检测灵敏度一致。实验结果显示:用该方法检测0~7 kHz频率范围内的电场,具有良好的线性度和准确度,传感器的灵敏度保持了很好的一致性,验证了该方法的合理性。
关键词
电
场
传感器
交/直流电场检测
宽频带
灵敏度
Keywords
electric field sensor
AC/DC electric field detection
wide frequency range
sensitivity
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
一种MEMS电场传感器宽频带电场检测方法
张洲威
夏善红
彭春荣
郑凤杰
刘俊
刘向明
高雅浩
彭思敏
邢学斌
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2023
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