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蝶形电极结构载流子注入全内反射交叉脊形光波导开关 被引量：4
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作者 李宝军 刘恩科 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期281-285,共5页
分析了一种蝶彩电极结构交叉脊形光波导开关．这种结构可使波导交叉角增大，反射损耗降低，传输端的消光比提高，波导的数值孔径变大，且有较小的串音．
关键词 硅 光波导开关 交叉脊形 电极结构
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