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交替型暗域相移掩模的并行算法
1
作者
闫大顺
周强
+1 位作者
蔡懿慈
洪先龙
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期667-670,共4页
设计并实现了一种暗域相移掩模(PSM)问题的并行算法。首先根据"分而治之"的原则,将输入版图划分为若干尺寸较小的、易于解决的子版图;然后分配每个子版图给不同的进程,各个进程同时独立地消除子版图的相位冲突;最后将所有的...
设计并实现了一种暗域相移掩模(PSM)问题的并行算法。首先根据"分而治之"的原则,将输入版图划分为若干尺寸较小的、易于解决的子版图;然后分配每个子版图给不同的进程,各个进程同时独立地消除子版图的相位冲突;最后将所有的子版图重新组合,生成没有相位冲突的相移掩模版图。实验结果表明,采用4进程的并行PSM算法,可以减少近64.3%的计算时间,获得2.8的加速比。算法还可以有效地减少冲突图中冲突的数目和边的数目。
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关键词
相移
掩模
交替型相移掩模
并行算法
暗域
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题名
交替型暗域相移掩模的并行算法
1
作者
闫大顺
周强
蔡懿慈
洪先龙
机构
仲恺农业技术学院计算机科学与工程学院
清华大学计算机科学与技术系
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期667-670,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(9060700190407005)
文摘
设计并实现了一种暗域相移掩模(PSM)问题的并行算法。首先根据"分而治之"的原则,将输入版图划分为若干尺寸较小的、易于解决的子版图;然后分配每个子版图给不同的进程,各个进程同时独立地消除子版图的相位冲突;最后将所有的子版图重新组合,生成没有相位冲突的相移掩模版图。实验结果表明,采用4进程的并行PSM算法,可以减少近64.3%的计算时间,获得2.8的加速比。算法还可以有效地减少冲突图中冲突的数目和边的数目。
关键词
相移
掩模
交替型相移掩模
并行算法
暗域
Keywords
Phase-shift mask
Alternating phase-shift mask
Parallel algorithm
Dark field
分类号
TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
交替型暗域相移掩模的并行算法
闫大顺
周强
蔡懿慈
洪先龙
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
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