期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
一种用于标准单元版图交替移相掩模相位兼容性规则检查的工具
被引量:
3
1
作者
高根生
史峥
+1 位作者
陈晔
严晓浪
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期601-606,共6页
介绍了一套基于相位冲突图的生成和处理的新方法 ,可以准确、全面地对由传统方法设计的标准单元版图(暗场 )进行检查 .基于此方法的软件工具能够检查标准单元版图 ,找出不符合交替移相掩模设计要求的图形 ,并给出相关的修改建议 .
关键词
交替移相掩模
相
位冲突图
标准单元
下载PDF
职称材料
100 nm分辨率交替式移相掩模设计
被引量:
1
2
作者
陆晶
陈宝钦
+2 位作者
刘明
龙世兵
李泠
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期260-264,共5页
讨论了100nm分辨率交替式移相掩模设计中的关键问题,以及通过对版图的拓扑分析,建立自动化的解决相位冲突的各种方法。通过比较,确立了分层叠加曝光的方案,并针对分层叠加曝光技术,进行了100nm节点中分层技术中两种关键图形的模拟。得...
讨论了100nm分辨率交替式移相掩模设计中的关键问题,以及通过对版图的拓扑分析,建立自动化的解决相位冲突的各种方法。通过比较,确立了分层叠加曝光的方案,并针对分层叠加曝光技术,进行了100nm节点中分层技术中两种关键图形的模拟。得出了分层叠加曝光在100nm技术节点中也可以实现的结论。
展开更多
关键词
交替
式
移
相
掩模
相
位冲突
光学临近效应校正
下载PDF
职称材料
题名
一种用于标准单元版图交替移相掩模相位兼容性规则检查的工具
被引量:
3
1
作者
高根生
史峥
陈晔
严晓浪
机构
浙江大学超大规模集成电路设计研究所
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期601-606,共6页
基金
国家自然科学基金 (批准号 :60 1760 15
90 2 0 70 0 2 )
国家高技术研究发展计划 (批准号 :2 0 0 2AA1Z14 60 )资助项目~~
文摘
介绍了一套基于相位冲突图的生成和处理的新方法 ,可以准确、全面地对由传统方法设计的标准单元版图(暗场 )进行检查 .基于此方法的软件工具能够检查标准单元版图 ,找出不符合交替移相掩模设计要求的图形 ,并给出相关的修改建议 .
关键词
交替移相掩模
相
位冲突图
标准单元
Keywords
alternating phase shifting mask
conflict graph
standard cell
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
100 nm分辨率交替式移相掩模设计
被引量:
1
2
作者
陆晶
陈宝钦
刘明
龙世兵
李泠
机构
中国科学院微电子所纳米加工与新器件集成技术实验室
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期260-264,共5页
基金
获国家自然基金支持(自然基金号60376020)
文摘
讨论了100nm分辨率交替式移相掩模设计中的关键问题,以及通过对版图的拓扑分析,建立自动化的解决相位冲突的各种方法。通过比较,确立了分层叠加曝光的方案,并针对分层叠加曝光技术,进行了100nm节点中分层技术中两种关键图形的模拟。得出了分层叠加曝光在100nm技术节点中也可以实现的结论。
关键词
交替
式
移
相
掩模
相
位冲突
光学临近效应校正
Keywords
alternating PSM
phase conflict
optical effect correction
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种用于标准单元版图交替移相掩模相位兼容性规则检查的工具
高根生
史峥
陈晔
严晓浪
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
下载PDF
职称材料
2
100 nm分辨率交替式移相掩模设计
陆晶
陈宝钦
刘明
龙世兵
李泠
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部