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亲水性固结磨料研磨垫自修整过程的实现探索
被引量:
6
1
作者
唐晓骁
朱永伟
+3 位作者
王成
顾勇兵
居志兰
李军
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2014年第1期68-73,共6页
亲水性固结磨料研磨垫(FAP)的自修整过程影响着其加工性能的稳定性.采用亲水性树脂和铜粉制备固结磨料研磨垫,研究研磨液中添加不同含量三乙醇胺对树脂基体砂浆磨损率及研磨垫材料去除率大小、稳定性的影响,以此来判断研磨垫的自修整性...
亲水性固结磨料研磨垫(FAP)的自修整过程影响着其加工性能的稳定性.采用亲水性树脂和铜粉制备固结磨料研磨垫,研究研磨液中添加不同含量三乙醇胺对树脂基体砂浆磨损率及研磨垫材料去除率大小、稳定性的影响,以此来判断研磨垫的自修整性能,探索亲水性固结磨料研磨垫自修整的实现机理.结果表明:在本文实验所考察范围内,随着研磨液中三乙醇胺含量的增加,树脂基体的砂浆磨损率升高,当三乙醇胺体积比从0升至5%时,砂浆磨损率从0.003 3 g上升至0.009 1 g;研磨液中三乙醇胺浓度的提高有助于其材料去除率的稳定,当三乙醇胺体积比从0升至5.0%时,材料去除率的稳定性从11%提升至42.9%.可见,研磨液中加入三乙醇胺可以改善含铜粉亲水性固结磨料研磨垫的自修整性能.
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关键词
亲水性
固结
磨
料
研磨
垫
三乙醇胺
材料去除率
自修整
砂浆
磨
损率
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职称材料
亲水性固结磨料研磨垫自修整机理探索
被引量:
4
2
作者
徐俊
朱永伟
+2 位作者
朱楠楠
王建彬
李军
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2014年第6期429-434,共6页
自修整特性是亲水性固结磨料研磨垫(FAP)的重要性能之一.为了探究其自修整的实现机理,使用PHL-350型平面高速研磨抛光机对K9玻璃圆片进行马拉松式实验.研究了研磨压力和孔隙对研磨垫自修整性能的影响.实验表明:研磨压力从0.15 MPa提高到...
自修整特性是亲水性固结磨料研磨垫(FAP)的重要性能之一.为了探究其自修整的实现机理,使用PHL-350型平面高速研磨抛光机对K9玻璃圆片进行马拉松式实验.研究了研磨压力和孔隙对研磨垫自修整性能的影响.实验表明:研磨压力从0.15 MPa提高到0.20 MPa,研磨垫的自修整效果显著提高,经过一段时间后,1#研磨垫和2#研磨垫的材料去除速率分别保持在10μm/min和8μm/min以上.同时,成孔剂的加入使基体砂浆磨损率提高了近7倍,提高了固结磨料研磨垫的材料去除速率的稳定性.因此,提高压力和适当弱化基体有助于实现固结磨料研磨垫的自修整过程.
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关键词
亲水性
固结
磨
料
研磨
垫
自修整
研磨
压力
孔隙
材料去除速率
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职称材料
研磨温度对亲水性固结磨料垫加工性能的影响
3
作者
张嘉倩
沈功明
+1 位作者
唐超
朱永伟
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2020年第1期67-73,共7页
研磨温度的升高会引起树脂基体模量的变化,从而影响亲水性固结磨料垫的加工性能。通过有限元分析软件仿真了亲水性固结磨料垫在不同研磨液温度下研磨石英玻璃的瞬态温度场,研究了不同温度条件下固结磨料垫基体的溶胀率与砂浆磨损量,探...
研磨温度的升高会引起树脂基体模量的变化,从而影响亲水性固结磨料垫的加工性能。通过有限元分析软件仿真了亲水性固结磨料垫在不同研磨液温度下研磨石英玻璃的瞬态温度场,研究了不同温度条件下固结磨料垫基体的溶胀率与砂浆磨损量,探索了固结磨料垫在不同研磨液温度下的加工性能。结果表明:随着研磨液温度的升高,基体温度分布区间也随之改变,固结磨料垫基体的溶胀率与砂浆磨损量均增加,分别达到了1.43%与2.5 mg;温度升高使基体动态模量减小,材料去除率(material removal rate,MRR)和表面粗糙度Ra得到了改善,分别为8.2μm/min和69.9 nm。因此适当提升研磨温度,能在一定程度上提高固结磨料垫的加工性能。
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关键词
研磨
温度
树脂基体
动态模量
亲水性
固结
磨
料
垫
加工性能
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职称材料
砂浆对固结磨具研磨垫研磨SiC工件的影响
4
作者
金振弘
朱永伟
+1 位作者
墨洪磊
王子琨
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2018年第6期54-60,共7页
为高效、稳定加工SiC工件,采用碳化硅砂浆辅助亲水性固结磨具研磨垫精研的方法,实验比较砂浆辅助固结磨具研磨垫研磨与传统固结磨具研磨垫研磨的差异,并研究砂浆中碳化硅的颗粒尺寸和质量分数对SiC工件精研去除率和表面形貌的影响。通...
为高效、稳定加工SiC工件,采用碳化硅砂浆辅助亲水性固结磨具研磨垫精研的方法,实验比较砂浆辅助固结磨具研磨垫研磨与传统固结磨具研磨垫研磨的差异,并研究砂浆中碳化硅的颗粒尺寸和质量分数对SiC工件精研去除率和表面形貌的影响。通过测算研磨垫的溶胀率和磨损率,探索碳化硅砂浆的作用机制。结果表明:在砂浆中添加颗粒尺寸为3~5μm、质量分数为3%的SiC时,精研过程的平均材料去除率为1.424 6μm/min,工件表面粗糙度R_a为84.6nm;而没有砂浆辅助精研时,材料去除率为0.040 0μm/min,表面粗糙度R_a为61.4nm。碳化硅砂浆的加入能有效提高亲水性固结磨具研磨垫的自修整能力,其自修整能力随砂浆中碳化硅的尺寸和质量分数增大而增强,材料的去除率提高,工件表面质量略降。
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关键词
亲水性固结磨具研磨垫
碳化硅砂浆
自修整
辅助精研
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职称材料
修整技术及提高固结磨料研磨垫自修整性的研究
被引量:
1
5
作者
居志兰
朱永伟
张福豹
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017年第2期11-15,共5页
随着化学机械研磨的持续进行,垫表面特征会发生变化,从而使其研磨能力大大降低。修整垫可改善表面轮廓,进而提高被加工晶片表面质量,而且可以减少表面缺陷,延长使用寿命。本文着重介绍固结磨料研磨垫常见修整技术,分为非自修整和自修整...
随着化学机械研磨的持续进行,垫表面特征会发生变化,从而使其研磨能力大大降低。修整垫可改善表面轮廓,进而提高被加工晶片表面质量,而且可以减少表面缺陷,延长使用寿命。本文着重介绍固结磨料研磨垫常见修整技术,分为非自修整和自修整两种类型,非自修整法有高压水射流修整、超声波振动法修整、金刚石修整器修整。并重点阐述通过合理选用研磨液、添加成孔剂以及优化研抛工艺参数等措施来促进亲水性固结磨料研磨垫自修整。
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关键词
修整技术
自修整
金刚石
磨
料
亲水性
固结
磨
料
研磨
垫
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职称材料
我国研磨行业固结磨具市场现状
6
《工具技术》
2009年第6期111-111,共1页
进入2009年以后,随着国家拉动内需下拨款,研磨行业从元月份开始逐渐有所好转。
关键词
市场现状
固结
磨
具
行业
研磨
下载PDF
职称材料
固结磨料研磨中去除机理探索
被引量:
6
7
作者
李茂
朱永伟
+2 位作者
叶剑锋
樊吉龙
李军
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2010年第4期1-6,共6页
结合目前实验室的实际加工条件建立了用FAP(fixed abrasive pad,固结磨料抛光垫)研磨抛光时磨粒嵌入工件表面的切深数学模型,提出了当不考虑抛光垫的弹性变形且FAP中添加的磨粒粒径范围在10~14μm之间时,磨粒压入工件的最大深度值在0.4...
结合目前实验室的实际加工条件建立了用FAP(fixed abrasive pad,固结磨料抛光垫)研磨抛光时磨粒嵌入工件表面的切深数学模型,提出了当不考虑抛光垫的弹性变形且FAP中添加的磨粒粒径范围在10~14μm之间时,磨粒压入工件的最大深度值在0.4μm左右。当考虑抛光垫的弹性变形时,磨粒嵌入工件的深度普遍减小,从而使得加工后工件的表面质量得到明显提高,主要表现在加工后工件表面划痕数量和划痕深度大大减小,表面粗糙度值降低。为了验证模型的正确性,在研磨抛光实验过程中收集了大量磨屑并对其拍摄大量SEM照片,通过图像处理和分析证明了在加工产生的磨屑中,91%以上(均值96.5%)的磨屑厚度小于0.3μm,非常好地吻合了本文中所建立的切深数学模型。
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关键词
固结
磨
料抛光
垫
研磨
去除机理
磨
屑
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职称材料
不同研磨阶段金刚石磨粒表面覆镍量的优化
被引量:
4
8
作者
王加顺
朱永伟
+2 位作者
徐胜
徐俊
李军
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期13-18,共6页
通过化学镀镍的方法,分别在两种粒径的金刚石表面镀覆一层增重率不同的Ni-P合金层,利用SEM分析了镀层微观形貌;并将其与树脂混合制备成固结磨料研磨垫,分别作为粗研和精研使用,探索了其加工特性。结果表明:镀层增重率可以明显改变金刚...
通过化学镀镍的方法,分别在两种粒径的金刚石表面镀覆一层增重率不同的Ni-P合金层,利用SEM分析了镀层微观形貌;并将其与树脂混合制备成固结磨料研磨垫,分别作为粗研和精研使用,探索了其加工特性。结果表明:镀层增重率可以明显改变金刚石镀层的微观形貌;精研过程的摩擦系数、材料去除速率和工件表面粗糙度均随着镀层增重率增大呈现先增大后减小的趋势,在镀层增重率30%时达到最大值;粗研过程的材料去除速率和工件表面粗糙度随着镀层增重率增大呈现先增大后减小的趋势,在镀层增重率50%时达到最大值;粗研过程对磨粒把持力的要求高于精研过程。
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关键词
金刚石
磨
粒
研磨
镀镍
固结
磨
料
研磨
垫
摩擦系数
材料去除率
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职称材料
超声振动研磨的研究
被引量:
1
9
作者
李宗智
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
1995年第5期42-43,共2页
超声振动研磨是把超声振动能量用于机械研磨中的一种高效率的研磨工艺.本文论述了超声振动研磨的机理,试验方法及特点.通过试验研究,得出了超声振动研磨的基本特性.
关键词
超声振动
研磨
超精加工
固结
磨
具
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职称材料
金刚石固结磨具研磨脆性材料
10
作者
许延芝
《磨料磨具通讯》
2005年第6期1-3,共3页
研磨是一项用于许多不同工业领域的重要加工和抛光技术,比如,金属、电子和光学元件的制造及硅片的生产都要用到研磨技术。在这些使用中,都是用来加工平坦的基片,这些基片要控制厚度、平面度和表面粗糙度,平面抛光可以用单面也可以...
研磨是一项用于许多不同工业领域的重要加工和抛光技术,比如,金属、电子和光学元件的制造及硅片的生产都要用到研磨技术。在这些使用中,都是用来加工平坦的基片,这些基片要控制厚度、平面度和表面粗糙度,平面抛光可以用单面也可以用双面加工来达到。传统的研磨可以分为两种基本类型:自由磨料研磨和固结磨具研磨。
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关键词
固结
磨
具
脆性材料
金刚石
表面粗糙度
抛光技术
工业领域
研磨
技术
光学元件
双面加工
平面抛光
基本类型
平面度
基片
金属
磨
料
原文传递
钎焊微粉金刚石磨盘磨块排布研究
11
作者
李全城
陈锐
《超硬材料工程》
CAS
2018年第3期25-32,共8页
研磨过程中磨块的排布对加工表面的质量起着不可忽视的作用。不同的磨块排布会对加工表面产生不同的加工效果。因此该研究拟通过采用仿真分析的方式对"对称排布"与"螺旋排布"(两种常用的钎焊微粉金刚石磨盘排布形式...
研磨过程中磨块的排布对加工表面的质量起着不可忽视的作用。不同的磨块排布会对加工表面产生不同的加工效果。因此该研究拟通过采用仿真分析的方式对"对称排布"与"螺旋排布"(两种常用的钎焊微粉金刚石磨盘排布形式)在定偏心磨削过程中工件材料的去除均匀性进行分析。仿真结果显示,"对称排布"的去除均匀性要优于"螺旋排布"。相关的硅片与氧化铝陶瓷研磨实验也随之进行。实验结果显示,在相同的加工条件下采用"对称排布"的磨盘进行研磨后的硅片与氧化铝陶瓷片的表面粗糙度与表面轮廓度更好,与仿真结果相一致。
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关键词
金刚石
磨
具
固结
磨
料
研磨
均匀性
磨
块排布
钎焊
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职称材料
题名
亲水性固结磨料研磨垫自修整过程的实现探索
被引量:
6
1
作者
唐晓骁
朱永伟
王成
顾勇兵
居志兰
李军
机构
南京航空航天大学机电学院
出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2014年第1期68-73,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(51175260
50905086)
+1 种基金
中央高校基本科研业务专项资金资助项目(NP2012506)
江苏省高校优势学科建设工程资助项目
文摘
亲水性固结磨料研磨垫(FAP)的自修整过程影响着其加工性能的稳定性.采用亲水性树脂和铜粉制备固结磨料研磨垫,研究研磨液中添加不同含量三乙醇胺对树脂基体砂浆磨损率及研磨垫材料去除率大小、稳定性的影响,以此来判断研磨垫的自修整性能,探索亲水性固结磨料研磨垫自修整的实现机理.结果表明:在本文实验所考察范围内,随着研磨液中三乙醇胺含量的增加,树脂基体的砂浆磨损率升高,当三乙醇胺体积比从0升至5%时,砂浆磨损率从0.003 3 g上升至0.009 1 g;研磨液中三乙醇胺浓度的提高有助于其材料去除率的稳定,当三乙醇胺体积比从0升至5.0%时,材料去除率的稳定性从11%提升至42.9%.可见,研磨液中加入三乙醇胺可以改善含铜粉亲水性固结磨料研磨垫的自修整性能.
关键词
亲水性
固结
磨
料
研磨
垫
三乙醇胺
材料去除率
自修整
砂浆
磨
损率
Keywords
hydrophilic fixed abrasive pad
triethanolamine
material removal rate
self-conditioning
slurry abrasion ratio
分类号
TG580.68 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
亲水性固结磨料研磨垫自修整机理探索
被引量:
4
2
作者
徐俊
朱永伟
朱楠楠
王建彬
李军
机构
南京航空航天大学机电学院
出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2014年第6期429-434,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(51175260)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(NP2012506)
江苏高校优势学科建设工程资助项目
文摘
自修整特性是亲水性固结磨料研磨垫(FAP)的重要性能之一.为了探究其自修整的实现机理,使用PHL-350型平面高速研磨抛光机对K9玻璃圆片进行马拉松式实验.研究了研磨压力和孔隙对研磨垫自修整性能的影响.实验表明:研磨压力从0.15 MPa提高到0.20 MPa,研磨垫的自修整效果显著提高,经过一段时间后,1#研磨垫和2#研磨垫的材料去除速率分别保持在10μm/min和8μm/min以上.同时,成孔剂的加入使基体砂浆磨损率提高了近7倍,提高了固结磨料研磨垫的材料去除速率的稳定性.因此,提高压力和适当弱化基体有助于实现固结磨料研磨垫的自修整过程.
关键词
亲水性
固结
磨
料
研磨
垫
自修整
研磨
压力
孔隙
材料去除速率
Keywords
hydrophilic fixed abrasive pad
self-conditioning
lapping pressure
pore
material removal rate
分类号
TG580.68 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
研磨温度对亲水性固结磨料垫加工性能的影响
3
作者
张嘉倩
沈功明
唐超
朱永伟
机构
南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2020年第1期67-73,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51675276)
文摘
研磨温度的升高会引起树脂基体模量的变化,从而影响亲水性固结磨料垫的加工性能。通过有限元分析软件仿真了亲水性固结磨料垫在不同研磨液温度下研磨石英玻璃的瞬态温度场,研究了不同温度条件下固结磨料垫基体的溶胀率与砂浆磨损量,探索了固结磨料垫在不同研磨液温度下的加工性能。结果表明:随着研磨液温度的升高,基体温度分布区间也随之改变,固结磨料垫基体的溶胀率与砂浆磨损量均增加,分别达到了1.43%与2.5 mg;温度升高使基体动态模量减小,材料去除率(material removal rate,MRR)和表面粗糙度Ra得到了改善,分别为8.2μm/min和69.9 nm。因此适当提升研磨温度,能在一定程度上提高固结磨料垫的加工性能。
关键词
研磨
温度
树脂基体
动态模量
亲水性
固结
磨
料
垫
加工性能
Keywords
lapping temperature
resin matrix
dynamic modulus
hydrophilic fixed abrasive pad
processing performance
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
TG58 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
砂浆对固结磨具研磨垫研磨SiC工件的影响
4
作者
金振弘
朱永伟
墨洪磊
王子琨
机构
南京航空航天大学机电学院
航天八院
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2018年第6期54-60,共7页
基金
国家自然科学基金(No.51675276)
江苏省精密与微细制造技术重点实验室。
文摘
为高效、稳定加工SiC工件,采用碳化硅砂浆辅助亲水性固结磨具研磨垫精研的方法,实验比较砂浆辅助固结磨具研磨垫研磨与传统固结磨具研磨垫研磨的差异,并研究砂浆中碳化硅的颗粒尺寸和质量分数对SiC工件精研去除率和表面形貌的影响。通过测算研磨垫的溶胀率和磨损率,探索碳化硅砂浆的作用机制。结果表明:在砂浆中添加颗粒尺寸为3~5μm、质量分数为3%的SiC时,精研过程的平均材料去除率为1.424 6μm/min,工件表面粗糙度R_a为84.6nm;而没有砂浆辅助精研时,材料去除率为0.040 0μm/min,表面粗糙度R_a为61.4nm。碳化硅砂浆的加入能有效提高亲水性固结磨具研磨垫的自修整能力,其自修整能力随砂浆中碳化硅的尺寸和质量分数增大而增强,材料的去除率提高,工件表面质量略降。
关键词
亲水性固结磨具研磨垫
碳化硅砂浆
自修整
辅助精研
Keywords
hydrophilic fixed abrasive pad
SiC slurry
self-conditioning
auxiliary finishing
分类号
TG58 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TG73 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
修整技术及提高固结磨料研磨垫自修整性的研究
被引量:
1
5
作者
居志兰
朱永伟
张福豹
机构
南京航空航天大学机电学院
南通大学机械工程学院
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017年第2期11-15,共5页
基金
江苏省高校自然科学基金(16KJD460006)
江苏省重点研发项目(BE2016116)
南通市应用基础研究项目(GY12016056)
文摘
随着化学机械研磨的持续进行,垫表面特征会发生变化,从而使其研磨能力大大降低。修整垫可改善表面轮廓,进而提高被加工晶片表面质量,而且可以减少表面缺陷,延长使用寿命。本文着重介绍固结磨料研磨垫常见修整技术,分为非自修整和自修整两种类型,非自修整法有高压水射流修整、超声波振动法修整、金刚石修整器修整。并重点阐述通过合理选用研磨液、添加成孔剂以及优化研抛工艺参数等措施来促进亲水性固结磨料研磨垫自修整。
关键词
修整技术
自修整
金刚石
磨
料
亲水性
固结
磨
料
研磨
垫
Keywords
conditioning technology
self-conditioning
diamond abrasive
hydrophilic fixed abrasive pad
分类号
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
我国研磨行业固结磨具市场现状
6
出处
《工具技术》
2009年第6期111-111,共1页
文摘
进入2009年以后,随着国家拉动内需下拨款,研磨行业从元月份开始逐渐有所好转。
关键词
市场现状
固结
磨
具
行业
研磨
分类号
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
F426.7 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
固结磨料研磨中去除机理探索
被引量:
6
7
作者
李茂
朱永伟
叶剑锋
樊吉龙
李军
机构
南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2010年第4期1-6,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50905086)
国家自然科学基金资助项目(No.50675104)
文摘
结合目前实验室的实际加工条件建立了用FAP(fixed abrasive pad,固结磨料抛光垫)研磨抛光时磨粒嵌入工件表面的切深数学模型,提出了当不考虑抛光垫的弹性变形且FAP中添加的磨粒粒径范围在10~14μm之间时,磨粒压入工件的最大深度值在0.4μm左右。当考虑抛光垫的弹性变形时,磨粒嵌入工件的深度普遍减小,从而使得加工后工件的表面质量得到明显提高,主要表现在加工后工件表面划痕数量和划痕深度大大减小,表面粗糙度值降低。为了验证模型的正确性,在研磨抛光实验过程中收集了大量磨屑并对其拍摄大量SEM照片,通过图像处理和分析证明了在加工产生的磨屑中,91%以上(均值96.5%)的磨屑厚度小于0.3μm,非常好地吻合了本文中所建立的切深数学模型。
关键词
固结
磨
料抛光
垫
研磨
去除机理
磨
屑
Keywords
fixed abrasive pad
lapping
removal mechanism
abrasive dust
分类号
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
不同研磨阶段金刚石磨粒表面覆镍量的优化
被引量:
4
8
作者
王加顺
朱永伟
徐胜
徐俊
李军
机构
南京航空航天大学机电学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期13-18,共6页
基金
国家自然科学基金(51175260
51375237)
文摘
通过化学镀镍的方法,分别在两种粒径的金刚石表面镀覆一层增重率不同的Ni-P合金层,利用SEM分析了镀层微观形貌;并将其与树脂混合制备成固结磨料研磨垫,分别作为粗研和精研使用,探索了其加工特性。结果表明:镀层增重率可以明显改变金刚石镀层的微观形貌;精研过程的摩擦系数、材料去除速率和工件表面粗糙度均随着镀层增重率增大呈现先增大后减小的趋势,在镀层增重率30%时达到最大值;粗研过程的材料去除速率和工件表面粗糙度随着镀层增重率增大呈现先增大后减小的趋势,在镀层增重率50%时达到最大值;粗研过程对磨粒把持力的要求高于精研过程。
关键词
金刚石
磨
粒
研磨
镀镍
固结
磨
料
研磨
垫
摩擦系数
材料去除率
Keywords
diamond abrasive particle
lapping
Nickel coating
fixed abrasive pad
coefficient of friction(COF)
material removal rate(MRR)
分类号
TG732 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
超声振动研磨的研究
被引量:
1
9
作者
李宗智
机构
中州大学
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
1995年第5期42-43,共2页
文摘
超声振动研磨是把超声振动能量用于机械研磨中的一种高效率的研磨工艺.本文论述了超声振动研磨的机理,试验方法及特点.通过试验研究,得出了超声振动研磨的基本特性.
关键词
超声振动
研磨
超精加工
固结
磨
具
分类号
TG580.68 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
金刚石固结磨具研磨脆性材料
10
作者
许延芝
机构
郑州磨料磨具磨削研究所
出处
《磨料磨具通讯》
2005年第6期1-3,共3页
文摘
研磨是一项用于许多不同工业领域的重要加工和抛光技术,比如,金属、电子和光学元件的制造及硅片的生产都要用到研磨技术。在这些使用中,都是用来加工平坦的基片,这些基片要控制厚度、平面度和表面粗糙度,平面抛光可以用单面也可以用双面加工来达到。传统的研磨可以分为两种基本类型:自由磨料研磨和固结磨具研磨。
关键词
固结
磨
具
脆性材料
金刚石
表面粗糙度
抛光技术
工业领域
研磨
技术
光学元件
双面加工
平面抛光
基本类型
平面度
基片
金属
磨
料
分类号
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
TB301 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
钎焊微粉金刚石磨盘磨块排布研究
11
作者
李全城
陈锐
机构
厦门理工学院现代工程训练中心
出处
《超硬材料工程》
CAS
2018年第3期25-32,共8页
基金
厦门理工学院大学生创新训练项目(40017234)
厦门理工学院横向科研项目(2016-3502-04-002985)
文摘
研磨过程中磨块的排布对加工表面的质量起着不可忽视的作用。不同的磨块排布会对加工表面产生不同的加工效果。因此该研究拟通过采用仿真分析的方式对"对称排布"与"螺旋排布"(两种常用的钎焊微粉金刚石磨盘排布形式)在定偏心磨削过程中工件材料的去除均匀性进行分析。仿真结果显示,"对称排布"的去除均匀性要优于"螺旋排布"。相关的硅片与氧化铝陶瓷研磨实验也随之进行。实验结果显示,在相同的加工条件下采用"对称排布"的磨盘进行研磨后的硅片与氧化铝陶瓷片的表面粗糙度与表面轮廓度更好,与仿真结果相一致。
关键词
金刚石
磨
具
固结
磨
料
研磨
均匀性
磨
块排布
钎焊
Keywords
diamond disk
fixed abrasive lapping
uniformity
arrangement Brazing
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
亲水性固结磨料研磨垫自修整过程的实现探索
唐晓骁
朱永伟
王成
顾勇兵
居志兰
李军
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2014
6
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职称材料
2
亲水性固结磨料研磨垫自修整机理探索
徐俊
朱永伟
朱楠楠
王建彬
李军
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2014
4
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职称材料
3
研磨温度对亲水性固结磨料垫加工性能的影响
张嘉倩
沈功明
唐超
朱永伟
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2020
0
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职称材料
4
砂浆对固结磨具研磨垫研磨SiC工件的影响
金振弘
朱永伟
墨洪磊
王子琨
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2018
0
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职称材料
5
修整技术及提高固结磨料研磨垫自修整性的研究
居志兰
朱永伟
张福豹
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017
1
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职称材料
6
我国研磨行业固结磨具市场现状
《工具技术》
2009
0
下载PDF
职称材料
7
固结磨料研磨中去除机理探索
李茂
朱永伟
叶剑锋
樊吉龙
李军
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2010
6
下载PDF
职称材料
8
不同研磨阶段金刚石磨粒表面覆镍量的优化
王加顺
朱永伟
徐胜
徐俊
李军
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
4
下载PDF
职称材料
9
超声振动研磨的研究
李宗智
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
1995
1
下载PDF
职称材料
10
金刚石固结磨具研磨脆性材料
许延芝
《磨料磨具通讯》
2005
0
原文传递
11
钎焊微粉金刚石磨盘磨块排布研究
李全城
陈锐
《超硬材料工程》
CAS
2018
0
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职称材料
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