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溶胶-凝胶法制备BaTiO_3/SrTiO_3多层膜的介电增强效应 被引量：1
1
作者 徐润 沈明荣 葛水兵 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期1139-1143,共5页
采用溶胶 凝胶法 ,在Pt Ti SiO2 Si衬底上逐层制备了BaTiO3 SrTiO3 多层膜 .从多层膜的XRD图可看出明显的双峰 ,分别对应为BaTiO3 和SrTiO3 的特征峰 ,表明样品已形成了多层膜结构 .与同厚度的Ba0 5Sr0 5TiO3 单层膜比较 ,BaTiO3 ... 采用溶胶 凝胶法 ,在Pt Ti SiO2 Si衬底上逐层制备了BaTiO3 SrTiO3 多层膜 .从多层膜的XRD图可看出明显的双峰 ,分别对应为BaTiO3 和SrTiO3 的特征峰 ,表明样品已形成了多层膜结构 .与同厚度的Ba0 5Sr0 5TiO3 单层膜比较 ,BaTiO3 SrTiO3 多层膜的介电系数得到了明显的增强 ,在频率为 10kHz时 ,周期为 6 6nm的BaTiO3 SrTiO3 多层膜相对于同厚度的Ba0 5Sr0 5TiO3 薄膜的介电系数从 2 45增强到 5 95 ,而损耗依然保持较低 ,分别为 0 0 2 9和 0 0 33.研究同时表明 ,BaTiO3 SrTiO3 多层膜与单层膜的介电频率色散程度、C 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 多层膜 介电增强效应 制备 钛酸钡 钛酸锶 BaTiO3/SrTiO3
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