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碳纳米管介电电泳组装及过程控制研究进展 被引量:4
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作者 韩子旭 安立宝 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期382-386,390,共6页
碳纳米管具有独特的结构和卓越的电学、热学、力学等性能,有望在微纳电子、微纳机电系统、传感器、新能源、光学等诸多领域获得具有深远影响的应用。碳纳米管的组装是其获得广泛应用的重要前提,基于介电电泳的组装和过程控制技术近年来... 碳纳米管具有独特的结构和卓越的电学、热学、力学等性能,有望在微纳电子、微纳机电系统、传感器、新能源、光学等诸多领域获得具有深远影响的应用。碳纳米管的组装是其获得广泛应用的重要前提,基于介电电泳的组装和过程控制技术近年来得到了迅速发展。这些技术包括回路中串联自限制性电阻,间隙电信号实时监测和反馈控制,三维结构的组装和包覆,引入不同形状浮动电极等。对碳纳米管介电电泳组装及各种新技术做了系统介绍,并对各种方法的优缺点进行了对比与总结,为探索稳定、高效的碳纳米管自动组装方法提供帮助。 展开更多
关键词 碳纳米管 介电电泳组装 过程控制 参数 自动化 进展
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