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碳纳米管介电电泳组装及过程控制研究进展
被引量:
4
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作者
韩子旭
安立宝
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期382-386,390,共6页
碳纳米管具有独特的结构和卓越的电学、热学、力学等性能,有望在微纳电子、微纳机电系统、传感器、新能源、光学等诸多领域获得具有深远影响的应用。碳纳米管的组装是其获得广泛应用的重要前提,基于介电电泳的组装和过程控制技术近年来...
碳纳米管具有独特的结构和卓越的电学、热学、力学等性能,有望在微纳电子、微纳机电系统、传感器、新能源、光学等诸多领域获得具有深远影响的应用。碳纳米管的组装是其获得广泛应用的重要前提,基于介电电泳的组装和过程控制技术近年来得到了迅速发展。这些技术包括回路中串联自限制性电阻,间隙电信号实时监测和反馈控制,三维结构的组装和包覆,引入不同形状浮动电极等。对碳纳米管介电电泳组装及各种新技术做了系统介绍,并对各种方法的优缺点进行了对比与总结,为探索稳定、高效的碳纳米管自动组装方法提供帮助。
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关键词
碳纳米管
介电电泳组装
过程控制
参数
自动化
进展
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职称材料
题名
碳纳米管介电电泳组装及过程控制研究进展
被引量:
4
1
作者
韩子旭
安立宝
机构
河北联合大学机械工程学院河北省无机非金属材料重点实验室
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期382-386,390,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(51172062
51472074)
+1 种基金
河北省自然科学基金资助项目(E2012209017)
河北省"百人计划"资助项目(E2012100005)
文摘
碳纳米管具有独特的结构和卓越的电学、热学、力学等性能,有望在微纳电子、微纳机电系统、传感器、新能源、光学等诸多领域获得具有深远影响的应用。碳纳米管的组装是其获得广泛应用的重要前提,基于介电电泳的组装和过程控制技术近年来得到了迅速发展。这些技术包括回路中串联自限制性电阻,间隙电信号实时监测和反馈控制,三维结构的组装和包覆,引入不同形状浮动电极等。对碳纳米管介电电泳组装及各种新技术做了系统介绍,并对各种方法的优缺点进行了对比与总结,为探索稳定、高效的碳纳米管自动组装方法提供帮助。
关键词
碳纳米管
介电电泳组装
过程控制
参数
自动化
进展
Keywords
Carbon nanotubes
Dielectrophoretic assembly
Process control
Parameters
Automation
Progress
分类号
TN304.18 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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被引量
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1
碳纳米管介电电泳组装及过程控制研究进展
韩子旭
安立宝
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2015
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