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电容式RF开关介电电荷及相关可靠性模型及模拟
被引量:
4
1
作者
袁晓林
黄庆安
《传感技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期87-92,共6页
就介电电荷以及它对电容式RF MEMS开关可靠性的影响进行了分析,在前人的基础上建立起了一个更加全面和准确的介电电荷积累及其相关可靠性模型。介电电荷的产生是由于电介质中有漏电流(Ohmic电流、Frenkel-Poole电流),漏电流中电荷被介...
就介电电荷以及它对电容式RF MEMS开关可靠性的影响进行了分析,在前人的基础上建立起了一个更加全面和准确的介电电荷积累及其相关可靠性模型。介电电荷的产生是由于电介质中有漏电流(Ohmic电流、Frenkel-Poole电流),漏电流中电荷被介质陷阱捕获,进而导致电荷的积累。由此得到了介电电荷随时间的积累公式、开关失效寿命公式以及介电击穿寿命公式,其结果具有一定参考价值。
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关键词
电
容式RF
MEMS开关
介电电荷
可靠性
漏
电
流
寿命
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职称材料
题名
电容式RF开关介电电荷及相关可靠性模型及模拟
被引量:
4
1
作者
袁晓林
黄庆安
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
出处
《传感技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期87-92,共6页
文摘
就介电电荷以及它对电容式RF MEMS开关可靠性的影响进行了分析,在前人的基础上建立起了一个更加全面和准确的介电电荷积累及其相关可靠性模型。介电电荷的产生是由于电介质中有漏电流(Ohmic电流、Frenkel-Poole电流),漏电流中电荷被介质陷阱捕获,进而导致电荷的积累。由此得到了介电电荷随时间的积累公式、开关失效寿命公式以及介电击穿寿命公式,其结果具有一定参考价值。
关键词
电
容式RF
MEMS开关
介电电荷
可靠性
漏
电
流
寿命
Keywords
capacitive RF MEMS switch
dielectric charge
reliability
leakage current
lifetime
分类号
TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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出处
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被引量
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1
电容式RF开关介电电荷及相关可靠性模型及模拟
袁晓林
黄庆安
《传感技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
4
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