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Al2O3介质层厚度对AlGaN/GaN金属氧化物半导体-高电子迁移率晶体管性能的影响
被引量:
1
1
作者
毕志伟
冯倩
+5 位作者
郝跃
岳远征
张忠芬
毛维
杨丽媛
胡贵州
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期7211-7215,共5页
在蓝宝石衬底上采用原子层淀积法制作了三种不同Al2O3介质层厚度的绝缘栅高电子迁移率晶体管.通过对三种器件的栅电容、栅泄漏电流、输出和转移特性的测试表明:随着Al2O3介质层厚度的增加,器件的栅控能力逐渐减弱,但是其栅泄漏电流明显...
在蓝宝石衬底上采用原子层淀积法制作了三种不同Al2O3介质层厚度的绝缘栅高电子迁移率晶体管.通过对三种器件的栅电容、栅泄漏电流、输出和转移特性的测试表明:随着Al2O3介质层厚度的增加,器件的栅控能力逐渐减弱,但是其栅泄漏电流明显降低,击穿电压相应提高.通过分析认为薄的绝缘层能够提供大的栅电容,因此其阈值电压较小,但是绝缘性能较差,并不能很好地抑制栅电流的泄漏;其次随着介质厚度的增加,可以对栅极施加更高的正偏压,因此获得了更高的最大饱和电流.另外,对三种器件的C-V与跨导特性的深入分析证明了较厚的Al2O3层拥有更好的介质质量与钝化效果.
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关键词
AL2O3
金属氧化物半导体-高电子迁移率晶体管
介质层厚度
钝化
原文传递
由反射系数确定多层介质厚度
被引量:
1
2
作者
蔡钧
《现代电子技术》
2001年第8期8-10,共3页
讨论了测量多层介质厚度的一种新方法 ,根据输入电磁波反射系数 ,用最优化方法反演出每层介质的厚度。
关键词
无损检测
电磁波
多
层
介质
厚度
微波检测
反射系数
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职称材料
介质材料厚度对一维光子晶体禁带的影响
被引量:
1
3
作者
王正刚
侯国付
+2 位作者
赵颖
刘彩池
孙卫忠
《南开大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期80-85,共6页
由Si和SiO2两种介质材料构成一维二元光子晶体,研究了介质材料各层厚度对光子禁带宽度和禁带位置的影响.为了更加接近实际情况,数值模拟中考虑了Si和SiO2折射率随波长的变化及材料的吸收.研究结果表明,在单周期厚度不变时,随着Si和SiO2...
由Si和SiO2两种介质材料构成一维二元光子晶体,研究了介质材料各层厚度对光子禁带宽度和禁带位置的影响.为了更加接近实际情况,数值模拟中考虑了Si和SiO2折射率随波长的变化及材料的吸收.研究结果表明,在单周期厚度不变时,随着Si和SiO2两种高低折射率介质厚度比值的增加,光子禁带变窄且禁带中心向长波方向移动;在两种介质厚度比值确定时,随着两种介质厚度同步递增,光子禁带展宽的同时禁带中心向长波方向移动.因此,在介质材料确定的前提下,可通过改变介质材料各层的厚度获得所需要的光子禁带.
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关键词
一维光子晶体
光子禁带
介质层厚度
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职称材料
无机氧化物沟道层/有机介质层混合型薄膜晶体管
4
作者
岳兰
董泽刚
孟繁新
《半导体技术》
CAS
北大核心
2019年第11期857-862,共6页
基于低成本溶液法的浸渍提拉成膜工艺以无机In-Al-Zn-O(IAZO)为沟道层,以有机聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为介质层,研制了无机/有机混合型薄膜晶体管(TFT),探究了PMMA厚度对IAZO TFT电学特性和电学稳定性的影响。结果表明,具备较薄PMMA介质...
基于低成本溶液法的浸渍提拉成膜工艺以无机In-Al-Zn-O(IAZO)为沟道层,以有机聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为介质层,研制了无机/有机混合型薄膜晶体管(TFT),探究了PMMA厚度对IAZO TFT电学特性和电学稳定性的影响。结果表明,具备较薄PMMA介质层的TFT呈现出更优越的工作特性(饱和迁移率大于20 cm2·V^-1·s^-1,电流开关比高于104),然而随着介质层厚度的减薄,经过疲劳测试后的器件电学稳定性却明显退化。此外,有机PMMA介质层(厚度390 nm)叠加于无机IAZO沟道层有一定的增透效果:IAZO/PMMA双层薄膜在可见光区(波长400~700 nm)的平均透过率(95.0%)高于单层IAZO的平均透过率(93.0%),表明所选用的IAZO和PMMA材料在制备全透明器件方面具备一定的应用潜力。
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关键词
薄膜晶体管
溶液法
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
介质层厚度
电学稳定性
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职称材料
高层盲埋孔厚铜板制作探讨
被引量:
2
5
作者
陆玉婷
王俊
+2 位作者
卫雄
龙小明
游俊
《印制电路信息》
2011年第4期142-145,共4页
随着电子科技的不断发展,高层厚铜线路板应运而生。文章从高层厚铜板的制作设计、工艺流程、制作要点等进行经验总结,为生产设计提供数据支持。
关键词
高
层
厚铜
盲埋孔
电流承载力
介质层厚度
工艺流程
控制要点
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职称材料
厚度的阶梯性变化对远红外高反射光子晶体带隙的调制研究
6
作者
王超
张凤祥
+4 位作者
邵东旭
程冰心
石敏
黄茂松
许遥
《红外技术》
CSCD
北大核心
2016年第9期793-797,共5页
利用特征矩阵法,研究了光波正入射时,厚度的阶梯性变化对远红外高反射光子晶体带隙的影响。结果表明,随着高折射介质层厚度的阶梯性增加,光子晶体高反射带的起始波长和截止波长都逐渐向长波方向移动,高反射带宽度也逐渐增大。高反射带...
利用特征矩阵法,研究了光波正入射时,厚度的阶梯性变化对远红外高反射光子晶体带隙的影响。结果表明,随着高折射介质层厚度的阶梯性增加,光子晶体高反射带的起始波长和截止波长都逐渐向长波方向移动,高反射带宽度也逐渐增大。高反射带起始波长、截止波长和高折射介质层厚度变化之间的关系可以分别利用一次方拟合表示,而高反射带宽度则需要利用二次方拟合才能达到理想的结果。
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关键词
介质层厚度
高反射带
光子晶体
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职称材料
特性阻抗板生产控制
被引量:
3
7
作者
曾芳仔
易良江
谭永忠
《印制电路信息》
2006年第7期33-34,66,共3页
概述了特性阻抗板生产过程中主要影响因素并提出有效控制阻抗的方法。
关键词
特性阻抗板
偏差
介质层厚度
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职称材料
高速PCB阻抗一致性研究
被引量:
3
8
作者
程柳军
刘文敏
+1 位作者
王红飞
陈蓓
《印制电路信息》
2016年第A02期29-37,共9页
随着信号传输的高速化和高频化发展,对印制电路板的阻抗设计及控制精度要求日趋严格,旨在减少信号在传输过程中的反射、失真等问题,保持传输信号的完整性。PCB制作时由于图形分布均匀性、PP压合厚度均匀性、线宽均匀性及电镀均匀性...
随着信号传输的高速化和高频化发展,对印制电路板的阻抗设计及控制精度要求日趋严格,旨在减少信号在传输过程中的反射、失真等问题,保持传输信号的完整性。PCB制作时由于图形分布均匀性、PP压合厚度均匀性、线宽均匀性及电镀均匀性等问题存在,会导致不同位置阻抗出现差异。本文通过在不同位置设计单端和差分阻抗线,综合分析图形分布、走线位置分布、铜厚等对阻抗一致性的影响,并对影响阻抗控制的关键因素进行分析,确定了影响阻抗一致性的主要因素及各因素作用强弱,可为提高PCB阻抗一致性提供参考和借鉴。
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关键词
阻抗控制
阻抗一致性
介质层厚度
线宽
高速PCB
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职称材料
一种挠性区不等长的刚挠板工艺研究
被引量:
1
9
作者
苟辉
邢慧超
+1 位作者
马亚伟
于梅
《印制电路信息》
2020年第12期24-29,共6页
针对等长刚挠结合板因受力不均而导致产生挠性部分折断现象,文章提出了一种不等长(书本型)刚挠板加工工艺,并以我司一款不等长刚挠板为例,详细介绍加工过程中的重难点技术。通过实验对介质层厚度、内层蚀刻参数以及不等长刚挠板的压合...
针对等长刚挠结合板因受力不均而导致产生挠性部分折断现象,文章提出了一种不等长(书本型)刚挠板加工工艺,并以我司一款不等长刚挠板为例,详细介绍加工过程中的重难点技术。通过实验对介质层厚度、内层蚀刻参数以及不等长刚挠板的压合工艺进行适应性调整与改进,生产出符合要求的不等长刚挠板,为不等长刚挠结合板的加工工艺提供技术支持。
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关键词
不等长刚挠结合板
介质层厚度
内
层
蚀刻参数
压合工艺
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职称材料
题名
Al2O3介质层厚度对AlGaN/GaN金属氧化物半导体-高电子迁移率晶体管性能的影响
被引量:
1
1
作者
毕志伟
冯倩
郝跃
岳远征
张忠芬
毛维
杨丽媛
胡贵州
机构
西安电子科技大学微电子学院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期7211-7215,共5页
基金
国家自然科学基金重点项目(批准号:60736033)
国防预研基金(批准号:51308030102)资助的课题~~
文摘
在蓝宝石衬底上采用原子层淀积法制作了三种不同Al2O3介质层厚度的绝缘栅高电子迁移率晶体管.通过对三种器件的栅电容、栅泄漏电流、输出和转移特性的测试表明:随着Al2O3介质层厚度的增加,器件的栅控能力逐渐减弱,但是其栅泄漏电流明显降低,击穿电压相应提高.通过分析认为薄的绝缘层能够提供大的栅电容,因此其阈值电压较小,但是绝缘性能较差,并不能很好地抑制栅电流的泄漏;其次随着介质厚度的增加,可以对栅极施加更高的正偏压,因此获得了更高的最大饱和电流.另外,对三种器件的C-V与跨导特性的深入分析证明了较厚的Al2O3层拥有更好的介质质量与钝化效果.
关键词
AL2O3
金属氧化物半导体-高电子迁移率晶体管
介质层厚度
钝化
Keywords
Al2O3
metal-oxide-semiconductor high-electron-mobility transistor(MOS-HEMT)
dielectric layer thickness
passivation
分类号
TN32 [电子电信—物理电子学]
TQ174.758 [化学工程—陶瓷工业]
原文传递
题名
由反射系数确定多层介质厚度
被引量:
1
2
作者
蔡钧
机构
扬州大学工学院电子工程系
出处
《现代电子技术》
2001年第8期8-10,共3页
文摘
讨论了测量多层介质厚度的一种新方法 ,根据输入电磁波反射系数 ,用最优化方法反演出每层介质的厚度。
关键词
无损检测
电磁波
多
层
介质
厚度
微波检测
反射系数
Keywords
nondestructive testing, optimizing, electromagnetic wave
分类号
TM931 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
介质材料厚度对一维光子晶体禁带的影响
被引量:
1
3
作者
王正刚
侯国付
赵颖
刘彩池
孙卫忠
机构
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室/光电信息技术科学教育部重点实验室
河北工业大学材料科学与工程学院
出处
《南开大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期80-85,共6页
基金
国家自然科学基金(61176060)
天津市自然科学基金重点项目(12JCZDJC28300)
+1 种基金
国家高技术研究发展规划(2011AA050503)
国家重点基础研究发展计划(2011CBA00705,2011CBA00706,2011CBA00707)
文摘
由Si和SiO2两种介质材料构成一维二元光子晶体,研究了介质材料各层厚度对光子禁带宽度和禁带位置的影响.为了更加接近实际情况,数值模拟中考虑了Si和SiO2折射率随波长的变化及材料的吸收.研究结果表明,在单周期厚度不变时,随着Si和SiO2两种高低折射率介质厚度比值的增加,光子禁带变窄且禁带中心向长波方向移动;在两种介质厚度比值确定时,随着两种介质厚度同步递增,光子禁带展宽的同时禁带中心向长波方向移动.因此,在介质材料确定的前提下,可通过改变介质材料各层的厚度获得所需要的光子禁带.
关键词
一维光子晶体
光子禁带
介质层厚度
Keywords
one-dimension photonic crystal
photonic band-gap
dielectric layer thickness
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
无机氧化物沟道层/有机介质层混合型薄膜晶体管
4
作者
岳兰
董泽刚
孟繁新
机构
贵州民族大学材料科学与工程学院贵州省普通高等学校光电信息分析与处理特色重点实验室
中国振华集团永光电子有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2019年第11期857-862,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(61504031)
贵州省科学技术基金资助项目(20147388,20147389)
+2 种基金
贵州省教育厅青年成长人才项目(2016155)
贵州民族大学科研基金资助项目(15XRY009)
贵州省普通高等学校光电信息分析与处理特色重点实验室项目(KY2016003)
文摘
基于低成本溶液法的浸渍提拉成膜工艺以无机In-Al-Zn-O(IAZO)为沟道层,以有机聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为介质层,研制了无机/有机混合型薄膜晶体管(TFT),探究了PMMA厚度对IAZO TFT电学特性和电学稳定性的影响。结果表明,具备较薄PMMA介质层的TFT呈现出更优越的工作特性(饱和迁移率大于20 cm2·V^-1·s^-1,电流开关比高于104),然而随着介质层厚度的减薄,经过疲劳测试后的器件电学稳定性却明显退化。此外,有机PMMA介质层(厚度390 nm)叠加于无机IAZO沟道层有一定的增透效果:IAZO/PMMA双层薄膜在可见光区(波长400~700 nm)的平均透过率(95.0%)高于单层IAZO的平均透过率(93.0%),表明所选用的IAZO和PMMA材料在制备全透明器件方面具备一定的应用潜力。
关键词
薄膜晶体管
溶液法
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
介质层厚度
电学稳定性
Keywords
thin-film transistor
solution method
polymethyl methacrylate (PMMA)
dielectric layer thickness
electrical stability
分类号
TN321.5 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
高层盲埋孔厚铜板制作探讨
被引量:
2
5
作者
陆玉婷
王俊
卫雄
龙小明
游俊
机构
景旺电子(深圳)有限公司
出处
《印制电路信息》
2011年第4期142-145,共4页
文摘
随着电子科技的不断发展,高层厚铜线路板应运而生。文章从高层厚铜板的制作设计、工艺流程、制作要点等进行经验总结,为生产设计提供数据支持。
关键词
高
层
厚铜
盲埋孔
电流承载力
介质层厚度
工艺流程
控制要点
Keywords
high-level thick copper
buried and blind vias
current carrying capacity
media thickness
production flow
control points
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
厚度的阶梯性变化对远红外高反射光子晶体带隙的调制研究
6
作者
王超
张凤祥
邵东旭
程冰心
石敏
黄茂松
许遥
机构
[
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2016年第9期793-797,共5页
文摘
利用特征矩阵法,研究了光波正入射时,厚度的阶梯性变化对远红外高反射光子晶体带隙的影响。结果表明,随着高折射介质层厚度的阶梯性增加,光子晶体高反射带的起始波长和截止波长都逐渐向长波方向移动,高反射带宽度也逐渐增大。高反射带起始波长、截止波长和高折射介质层厚度变化之间的关系可以分别利用一次方拟合表示,而高反射带宽度则需要利用二次方拟合才能达到理想的结果。
关键词
介质层厚度
高反射带
光子晶体
Keywords
dielectric layer thickness
highly reflective band
photonic crystals
分类号
O434 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
特性阻抗板生产控制
被引量:
3
7
作者
曾芳仔
易良江
谭永忠
机构
江南计算技术研究所
南京浦江电子有限公司
出处
《印制电路信息》
2006年第7期33-34,66,共3页
文摘
概述了特性阻抗板生产过程中主要影响因素并提出有效控制阻抗的方法。
关键词
特性阻抗板
偏差
介质层厚度
Keywords
impedance of PCB deviation thickness of dielectric layer
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TQ063 [化学工程]
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职称材料
题名
高速PCB阻抗一致性研究
被引量:
3
8
作者
程柳军
刘文敏
王红飞
陈蓓
机构
广州兴森快捷电路科技有限公司
深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司
出处
《印制电路信息》
2016年第A02期29-37,共9页
文摘
随着信号传输的高速化和高频化发展,对印制电路板的阻抗设计及控制精度要求日趋严格,旨在减少信号在传输过程中的反射、失真等问题,保持传输信号的完整性。PCB制作时由于图形分布均匀性、PP压合厚度均匀性、线宽均匀性及电镀均匀性等问题存在,会导致不同位置阻抗出现差异。本文通过在不同位置设计单端和差分阻抗线,综合分析图形分布、走线位置分布、铜厚等对阻抗一致性的影响,并对影响阻抗控制的关键因素进行分析,确定了影响阻抗一致性的主要因素及各因素作用强弱,可为提高PCB阻抗一致性提供参考和借鉴。
关键词
阻抗控制
阻抗一致性
介质层厚度
线宽
高速PCB
Keywords
Impedance Control
Impedance Consistency
Thickness of Dielectric Layer
Line Width
High-Speed PCB
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
一种挠性区不等长的刚挠板工艺研究
被引量:
1
9
作者
苟辉
邢慧超
马亚伟
于梅
机构
中国航空工业集团公司西安航空计算技术研究所
出处
《印制电路信息》
2020年第12期24-29,共6页
文摘
针对等长刚挠结合板因受力不均而导致产生挠性部分折断现象,文章提出了一种不等长(书本型)刚挠板加工工艺,并以我司一款不等长刚挠板为例,详细介绍加工过程中的重难点技术。通过实验对介质层厚度、内层蚀刻参数以及不等长刚挠板的压合工艺进行适应性调整与改进,生产出符合要求的不等长刚挠板,为不等长刚挠结合板的加工工艺提供技术支持。
关键词
不等长刚挠结合板
介质层厚度
内
层
蚀刻参数
压合工艺
Keywords
Unequal Length Rigid-Flex Board
DielectricLayer Thickness
Inner Layer Etching Parameters
Pressing Process
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Al2O3介质层厚度对AlGaN/GaN金属氧化物半导体-高电子迁移率晶体管性能的影响
毕志伟
冯倩
郝跃
岳远征
张忠芬
毛维
杨丽媛
胡贵州
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
原文传递
2
由反射系数确定多层介质厚度
蔡钧
《现代电子技术》
2001
1
下载PDF
职称材料
3
介质材料厚度对一维光子晶体禁带的影响
王正刚
侯国付
赵颖
刘彩池
孙卫忠
《南开大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
下载PDF
职称材料
4
无机氧化物沟道层/有机介质层混合型薄膜晶体管
岳兰
董泽刚
孟繁新
《半导体技术》
CAS
北大核心
2019
0
下载PDF
职称材料
5
高层盲埋孔厚铜板制作探讨
陆玉婷
王俊
卫雄
龙小明
游俊
《印制电路信息》
2011
2
下载PDF
职称材料
6
厚度的阶梯性变化对远红外高反射光子晶体带隙的调制研究
王超
张凤祥
邵东旭
程冰心
石敏
黄茂松
许遥
《红外技术》
CSCD
北大核心
2016
0
下载PDF
职称材料
7
特性阻抗板生产控制
曾芳仔
易良江
谭永忠
《印制电路信息》
2006
3
下载PDF
职称材料
8
高速PCB阻抗一致性研究
程柳军
刘文敏
王红飞
陈蓓
《印制电路信息》
2016
3
下载PDF
职称材料
9
一种挠性区不等长的刚挠板工艺研究
苟辉
邢慧超
马亚伟
于梅
《印制电路信息》
2020
1
下载PDF
职称材料
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