采用仿射迭代最近点的晶圆分割方法

针对依赖硬件设施的晶圆分割方法存在生产成本高、工艺复杂且分割效果不稳定的问题,提出以仿射迭代最近点(ICP)算法为核心的基于图像形状配准思想的晶圆分割方法。该方法采用Canny算子提取图像边缘,建立晶圆模板图像与目标图像的特征点集;对目标图像的边缘图像进行基于Hough的直线检测,得到粗略的晶圆矩形边框信息;以矩形左上角的点坐标作为匹配搜索区域的初始值进行基于仿射ICP算法的精确配准,通过晶圆产品图像与模板图像的特征匹配,实现晶圆的快速、准确分割。理论分析及实验结果表明:该方法计算复杂度较低,单独样本分割时间约为0.9s,样本分割精度明显高于其他算法,满足自动化生产线的实时在线检测需求。

基于控制点一致性约束的点集仿射配准算法

提出一种基于控制点一致性约束的稳健仿射迭代最近点算法,该方法通过建立控制点约束下的目标函数,引导数据点集仿射配准到目标点集,建立数据点集和目标点集的最近点对应关系,采用随机抽样一致性方法筛选高精度形状控制点,实现控制点约束下的目标函数更新仿射变换。实验结果表明,与传统的图像点集仿射配准算法相比,所提算法的准确性和稳健性显著提高。