浸没式光刻照明系统中会聚镜的设计及公差分析

为了实现掩膜面的均匀照明,采用非球面技术对浸没式光刻照明系统中会聚镜进行了设计,并对影响系统远心度的误差源进行了分析。设计的会聚镜数值孔径的一致性偏差在0.2%以内,像方远心度小于0.2mrad,以系统的远心度变化0.1mrad,数值孔径一致性变化0.1%,点列图变化20μm,焦距变化0.1mm为公差基础值,计算出会聚镜的厚度公差为±0.02mm~±0.05mm,单面倾斜10″~20″。该浸没式光刻照明系统中会聚镜的设计合理,制定的公差可行,能够满足硅片面上照明非均匀性小于3%的要求。

一种槽式太阳能反射镜快速检测系统的设计

针对太阳能会聚镜产品出厂检测的需要,以及传统人工检测方法对技术人员技术的高要求和检测易受天气条件的限制,对太阳能会聚镜检测进行了深入的研究,基于PLC控制技术和图像处理技术,开发了太阳能会聚镜在线检测系统。介绍了一种太阳能会聚镜快速检测系统通过控制装有一组平行排列激光头的横梁上下运动,来模拟太阳光照射,通过摄像头捕捉位于反射镜焦点的光靶成像,计算出反射镜成像偏差,进而对反射镜的状态进行评估。通过该系统,实现了对太阳能会聚镜的同步、实时快速检测。