He-Ne激光器功率调谐位移传感激光器

阐述了一种新型的He Ne激光位移传感器 ,具有自校准功能以及没有原理上的误差。利用频率分裂技术 ,将一个纵模间隔分为 4个宽度相等的区间 ,在这 4个区间内激光器具有不同的光功率输出。当一个频率移动过这样的一个区间 ,相当于激光器的一个腔镜移动了λ/ 8。可移动的反射镜与被测工件相连。这样 ,一支He Ne激光器变成了一个不用干涉现象的位移传感器 ,其测量范围可达 10mm ,测量精度可达 0 .0 79μm ,并具有判向的功能。

面向21世纪的双频激光及相关测量科学技术

测 2 1世纪初几种重要激光计量仪器的发展水平 :双频激光可输出近零赫兹到百吉赫兹的频差 ,频差的稳定性将达到 1 0 - 7,从而使相对测量干涉仪的测量速度获得提高 ;高精度、长距离的绝对测量得以实现 ;双频激光的发展使建立新的可溯源到光波长的波片测量基准成为可能 ;产生一种可直接传感位移的激光器 ,可在很大程度上取代电感测微仪 ;产生一种测角仪 ,可在几十度范围内达到 0 .0 1′分辨率 ;产生一种惯性振动测量仪器 ,分辨率达到纳米。