传统半导体厂商对MEMS的思考

最近几年来MEMS技术在国内外得到了迅猛的发展，MEMS产品已经有了开拓性的应用，MEMS产业链将会迅速崛起，预计2007年，全球MEMS元器件销售总额将突破70亿美元。