IMAC400在双臂晶圆传输机械手控制系统中的应用

本文介绍了国内晶圆传输机械手的发展现状和泰道公司的多轴控制器IMAC400的特点,并以R-θ型双臂晶圆传输机械手为例,讲解了利用IMAC400进行控制系统设计的思路。试验证明,利用IMAC400作为晶圆传输机械手的运动控制器,开发周期短,机械手运行稳定,控制精度高,完全满足机械手运动控制器的要求。

传输机械手在汽车座椅滑轨冲压线中的应用与研究

传输机械手在大型多工位生产线中至关重要。主要研究了汽车座椅滑轨冲压生产线中传输机械手的运动与电气控制,重点介绍了S7-300 PLC与安川伺服控制器的通讯连接以及相关硬件与软件的设计。传输机械手的应用,不但实现了滑轨冲压生产线的全自动化而且大幅度提高了生产节奏,变得更加柔性更加智能化。

新型真空传输机械手设计研究

作为半导体行业的关键元件,晶圆对晶圆传输机械手的要求非常高。针对传统真空机械手在刚度、洁净度及寿命等方面的不足,提出一种新型连杆式真空传输机械手结构,可实现平面内任意直线轨迹规划运动,不仅结构简单,洁净度高,而且有效的提高了刚度及使用寿命。同时,根据真空传输机械手的结构建立其分析模型,推导运动学公式,对机械手驱动臂同步控制运动及电机同步控制精度进行了仿真分析,阐述了插值次数与运动精度之间的联系并优化得到最佳插值次数,为真空机械手机构的优化设计和平稳控制提供了理论基础。

MP2300在晶圆传输机械手控制系统中的应用

本文介绍了国内晶圆传输机械手的发展现状和安川机器控制器MP2300的特点,并以R-θ型单臂晶圆传输机械手为例,讲解了利用MP2300进行控制系统设计的思路。试验证明,利用MP2300作为晶圆传输机械手的运动控制器,开发周期短,机械手运行稳定,控制精度高,完全满足机械手运动控制器的要求。

基于位姿调整的晶圆传输机械手运动学和动力学分析

搭建位姿可调整的晶圆传输机械手平台,通过对自由度的分析,验证该机械手满足晶圆传输要求的平动和转动。建立运动坐标系,并进行运动学分析,然后建立该机械手的运动学方程。基于拉格朗日方法进行动力学分析,推导并建立动力学数学模型,并验证动力学模型的准确性。

晶圆片盒传输机械手设计与运动仿真

为满足立式扩散炉设备中晶圆片盒传输效率及定位精度高的要求,设计了一种五自由度混合型机械手,主体结构由Y、Z轴方向模组及SCARA机械手组成。利用改进型D-H法建立各连杆间的运动学模型,并进行运动学正逆求解;针对无穷逆解的问题,通过构造目标优化函数结合粒子群优化(PSO)算法进行求解。最终基于MATLAB完成仿真分析,结果表明所建立的运动学方程正确,机械手的工作空间满足使用要求,所得最优逆解可使机械手末端达到设定的定位精度。

瑞士GUDEL自动化装备在自动化压机线的应用

德国全自动压机线的金属零件传输主要依靠自主开发的高速传输机械手Speedbar来完成,而最近几年,瑞士的Gudel自动化装备开始陆续出现在国内的压机线上,Gudel自动化装备的更轻量化和更高程度的自动化,满足了用户的不同需求,并以更高的传输效率,在国内的压机线上推广,获得更多汽车厂商的青睐。