采用晶圆传送机器人的晶圆预对准方法

针对传统的晶圆预对准控制系统成本高和体积大的不足,设计了基于晶圆传送机器人的晶圆预对准装置,并提出了高效、高精度的晶圆圆心和缺口定位算法。采用交换吸附的方式通过预对准装置一维旋转和晶圆传送机器人空间平移实现晶圆预对准。误差分析及预对准实验研究结果表明,晶圆圆心的定位精度<50,预对准时间为10 s,满足设计要求。

无人餐厅传送机器人的设计

由于我国餐饮行业菜系多样化,口味纷杂,使得消费者的忠诚度低,餐饮行业效率较低。针对目前餐饮业的弊端,提出了冒泡式传菜机器人。通过声音、图像等多种感应技术,实现自动避障,菜品的识别,提高上菜速度,改变传统餐厅的经营模式,让餐厅的服务智能化,进而吸引消费者在日益竞争的餐饮行业中,科技产业可以帮助餐饮行业赢得极大的跃升。