枕型二维位敏探测器的结构和性能研究

本文从二维位敏探测器 ( PSD)的结构和性能的比较出发 ,对枕型结构 PSD的性能作了理论上的推导和分析 。

多晶硅一维MIS结构光位敏探测器的研制

以横向光伏效应为工作模式，采用氢化非晶硅（ａ－Ｓｉ：Ｈ）的快速退火固相晶化工艺，我们成功地研制了一维ＭＩＳ结构的多晶硅（ｐｏｌｙ－Ｓｉ）光位敏探测器（ＰＳＤｓ）．测试结果表明：该器件光响应峰位在６６０ｎｍ附近，峰位处光谱灵敏度为１×１０－３μＡ／μＷ，在２０ｍＷ／ｃｍ２光功率密度下，对７８０ｎｍ的近红外光其平均位敏度约０．２８ｍＶ／ｎｍ，与未经退火的α－Ｓｉ：Ｈ器件相比，光响应最大光位敏度为０．４６ｍＶ／ｎｍ，峰位红移６０ｎｍ，光谱灵敏度提高了１－２个数量级。

大面积枕型二维位敏探测器的研制

在简要分析二维位敏探测器工作原理的基础上,详细介绍了一种大面积枕型二维位敏探测器的结构设计和制作工艺。对器件响应度、暗电流、位置分辨率,以及位置线性度等性能参数进行了分析。测试结果显示,器件在峰值波长λp=930nm处的响应度达0.63A/W,暗电流小于300nA(VR=10V),位置分辨率小于10μm,位置非线性度小于5%。

位敏探测器PSD特性及其在三角测量中的应用

对ＰＳＤ位敏探测器的结构、原理、特性加以分析和概述；着重论述了ＰＳＤ在光学三角测量中的具体应用；详细分析了造成系统误差的根本原因。

位敏探测器表面反射损耗的优化

本文通过计算 Si O2 单层以及 Si O2 和 Si3N4组成的双层减反膜对不同波长的反射率 ,给出了位敏探测器表面反射损耗的优化。

管道三维检测仪的激光光斑位敏探测技术

通过摄像机采集激光光斑在成像屏上的图像并计算光斑坐标变化的方法,来检测地下管线的位置分布以及弯曲变化,具有精度高、响应灵敏等优点。在投影屏边缘处设计了五个固定孔作为尺度定标点,采集激光光斑在管道中移动的投影图像,采用多种数字图像处理方法,获得了五个固定孔投影椭圆的位置以及光斑的位置。此方法比以前检测光斑位置的方法,数据稳定可靠,有助于地下管道的三维分布测试的精度提高。

GD阴极位敏探测器

本文叙述了GD阴极位敏探测器的设计和制作,得到的空间分辨率好于0.3mm,有效范围约30mm,非线性约1％。

弱光位敏探测器

提出一种新型弱光位敏探测器。总结了该器件理论分析设计，给出了实验结果，并与传统光电倍增管比较了优缺点。

GD阴极位敏探测器的读出系统

位敏探测器的定位由两部分决定:一是室的结构,一是信号处理系统。为了X射线衍射研究,读出GD阴极位敏探测器的位置信息,我们采用模拟除法器制作读出系统。 从位敏室获取位置信号需要某种转换,一类是从时间信息转换而来,如采用延时线;一类是从脉冲幅度转换而来,如重心法、电荷分割法等。由于GD阴极结构,我们的系统采用电荷分割法。

微通道板位敏探测器

根据读出粒子流空间坐标的方式,可以把微通道板位敏探测器分为三类:数字读出、模拟读出及数字-模拟混合读出位敏探测器。本文首先简略地介绍位敏探测器的基本结构,并着重介绍各种位敏探测器读出阳极的结构、工作机理及目前发展的状况。

微晶硅膜MIS结构光位敏探测器的研制

采用快速退火工艺，促使非晶硅膜固相晶化，获得了具备器件质量的微晶硅膜．以此晶化膜作基本材料，采取侧向光伏效应的工作模式，以金属－绝缘体－半导体（ＮＩＳ）结构成功地研制出了－维微晶硅膜的光位敏探测器．实验结果表明，该器件具有非晶硅器件与晶体硅器件互补兼容的特色．

激光位敏探测技术在动态漂移测试中的应用

根据陀螺稳定平台动态漂移测试需求，提出了利用反馈锁定法构建基于激光位敏探测（PSD）技术的平台动态漂移测试系统的方案。实验结果显示。测试系统较好地分离出平台的动态误差和动态漂移，测试结果直观、可信度强、精度高。此方案在弹（箭）陀螺稳定平台动态漂移测试中有一定的应用前景。

位敏探测器在高技术缝纫中的应用

我们日常生活中使用的许多物品的功能和尺寸都是由人体体形的统计数据来决定的.象飞机、汽车的内部、办公用品、运动器具及无垫衬的衣眼等等都应用了拟人尺寸的分布数据,这些数据都是使用传统的测量工具象皮尺、圆规、高度民等测量而来的.因为这些传统的测量工具工作起来速度慢、精度有限,因此适合顾客的仪器和服装的单体测量法在专业化的医疗设备、超高技术的运动及军用设备、燕尾服中的应用受到了限制.光电子学提供了一个低时间强度的测量方法.而且最近探测器和计算机技术的发展又提高了它的精度和自动化程度,这些都预示着定制应用的未来发展.

位置敏感探测器(PSD)的进展

阐述了PSD的主要特性及其进展，文中的商业产品参数，来自于1997年的日本滨松光子学公司的一维和二维PSD的技术数据。PSD研制品中介绍了非晶硅薄膜PSD、多条形PSD、大面积二维PSD及MOS型一维PSD等的性能和参数。

小动物用PET系统的新型位敏型探测器的原型研究(英文)

正电子放射层析系统 (PET)是科学研究的强有力的工具。本文阐述了由两层LSO晶体阵列和最新开发的位置灵敏型光电倍增管构成的新型位敏型探测器的一些特性。结果表明该探测器能够用于小动物PET中。文中最后简述了利用该探测器构筑的微型PET扫描器的初始设计。

极坐标二维位敏光电探测器的设计

设计了一种极坐标二维位敏光电探测器,它采用一维位敏光电探测器测量原理测量光点的二维参数,经处理后得到光点的二维极坐标。该器件采用一种特殊的平面曲线形式的光敏面结构,可以广泛地应用于军事及民用领域中。

一维光电位置敏感器的应用研究

简要叙述了一维光电位置敏感器 (PSD)的工作原理 ,以及采用光学三角法测量构成的尺寸测量传感器 ,重点介绍光电位置敏感器、半导体激光器实现铁路钢轨磨耗自动检测的方法。

激光位置探测器的角位移测量精度分析

作为激光光斑位置探测器,象限探测器和位敏探测器被广泛应用于激光光斑跟踪、监控、位置检测和定位等领域。对这两种探测器的角位置测量精度进行了探讨,分析了影响精度的主要噪声源,推导出两者的角位移精度表达式,并通过计算进行了模拟。结果显示,两者的测量精度决定于信号的信噪比,且随作用距离的增加而降低;象限探测器的角位移测量精度明显高于位敏探测器。在忽略背景光噪声的情况下,象限探测器的精度约为位敏探测器的40倍。

激光跟踪仪的光电瞄准与定位系统

考虑激光跟踪仪的光电瞄准与定位直接影响仪器的整体测量精度和使用性能,讨论了激光跟踪仪的光电瞄准和跟踪定位控制技术并提出了光电探测瞄准、信号调理采集、数字处理及智能跟踪伺服的系统整体技术方案。对系统关键部件进行选型,利用角锥棱镜和位敏探测器(PSD)作为光电探测核心,设计了探测光路和信号处理电路。研制了系统样机,搭建了目标位移量标准测试平台,对样机光电瞄准系统探测信号进行了测试。测试结果显示:采用该设计方案设计的激光跟踪仪样机的静态定位测量精度达到6μm,随机动态跟踪测量速度大于1m/s。结果表明:提出的方法可解决激光跟踪仪定位精度低、动态跟踪效果差等常见问题,可为研制高精度、大范围、大尺寸测量仪器提供技术参考。