一种高频响拉杆式位移传感器设计与校准研究

介绍了一种适用于高炮自动机位移测试的拉杆式电涡流位移传感器,分析了高炮自动机位移测试的特点与难点,指出了拉杆式电涡流位移传感器与差动变压器式位移传感器(LVDT)的区别,并介绍了拉杆式电涡流位移传感器的工作原理与组成、关键技术参数与规格、传感器配套放大器的电测法校准、传感器的实验室动态校准以及靶场应用情况。

高低温环境光栅线位移传感器校准装置精度设计

介绍了一种高低温环境光栅线位移传感器校准装置,该校准装置通过机械传动的方式将高低温环境下的位移量传递至常温环境中来实现校准功能。误差计算结果表明,该校准装置的最大允许误差为1.4μm,满足高低温环境光栅线位移传感器的校准精度要求。

线位移传感器校准装置不确定度的评定和维保

线位移传感器是将被测位移量转化为与之对应的电流量或电压量的装置[1]。在结构强度试验中,大量的线位移传感器用于测量飞机加载情况下的形变[2]。文章主要研究线位移传感器校准装置的不确定度评定,通过综合考虑和分析测量误差来源,从而得到该类校准装置的不确定度,为线位移传感器的校准提供可靠的理论依据。在开展位移传感器的校准工作时,为保证其校准数据的稳定,同时延长其使用寿命,还需要定期对该校准装置进行维保工作,这也是一项及其重要的工作。

车台用角位移传感器自动分度校准系统设计

为实现高精度SJJF型数显手动分度头的数控化改造应用,满足某航空发动机整机性能测试中车台用角位移传感器自动校准检测的实用性需求,解决手工角度分度耗时费力的难题,提出了角度量自动分度控制系统设计方案,运用逻辑可编程器件(Programmable Logic Controller,PLC)配合专用梯形图编程指令,实现角度光栅信号自动数字化采集、角度值换算、比例微分积分闭环控制(Proportion Integration Differentiation Controller,PID)定位及光栅对零,能够有效满足车台用角位移传感器线性度、灵敏度等校准精度要求,且节约了70%的时间,提高角度分度效率的同时也降低了劳动强度。

6291型热变形温度和维卡软化温度测试仪的校准及故障排除

介绍6291型热变形温度和维卡软化温度测试仪的温度校准和位移校准方法,对测试仪的一些常见故障,例如电源故障、主温度传感器故障、电加热系统控制单元故障及测试站的温度偏差较大等进行了分析,并给出了排除故障的方法。

火炮光栅测径仪校准装置的研制与验证

以靶场火炮光栅测径仪的现场校准为需求,根据测径仪的工作原理和结构,本文提出一种光栅传感器位移量校准方法,设计和研制校准装置,并对校准装置进行多次测量。经验证,该方法设计合理、科学可行,该装置便捷、可靠,可实现光栅传感器在受力环境下位移量的校准,保证测径仪的测量准确度,为武器系统身管寿命评价提供可靠数据。

基于光栅干涉仪的纳米位移台校准方法研究

随着集成电路制造关键尺寸向着5 nm的节点迈进,我国集成电路检测设备产业化的呼声剧增,纳米位移台作为集成电路制造、超精密加工、精密科学仪器制造等领域检测设备的关键器件,研究人员对其重复定位精度、线性度的要求越来越高。光栅干涉仪以光栅作为标准物质溯源到长度基准,因其对环境因素的变化不敏感、抗干扰能力强、稳定性高的优点,成为微纳检测设备产业化的新方向。采用基于标准物质的光栅干涉仪,针对纳米位移台的重复定位精度、线性度分别设计了不同的校准方案,并通过实验验证方案的可行性,最后对该校准方法的测量不确定度和溯源性进行了分析,可以看出设计的校准方案测量稳定、溯源链短。