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BiFe_(0.98-x)Ti_(0.02)Zn_xO_3薄膜结构与压电性能
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作者 孙雯 胡广达 《济南大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2013年第3期225-228,共4页
采用金属有机分解法在ITO/玻璃衬底上制备出晶粒尺寸均匀且致密的BiFe0.98-xTi0.02ZnxO3薄膜。XRD结果表明,掺入适量Zn2+有助于薄膜(012)取向晶粒的生长。压电原子力显微镜测试结果显示,BiFe0.965Ti0.02Zn0.015O3薄膜具有最大的压电常数... 采用金属有机分解法在ITO/玻璃衬底上制备出晶粒尺寸均匀且致密的BiFe0.98-xTi0.02ZnxO3薄膜。XRD结果表明,掺入适量Zn2+有助于薄膜(012)取向晶粒的生长。压电原子力显微镜测试结果显示,BiFe0.965Ti0.02Zn0.015O3薄膜具有最大的压电常数d33(123 pm/V),比BiFe0.98Ti0.02O3薄膜压电响应提高50%。 展开更多
关键词 金属有机分解法 铁酸铋薄膜 低价离子掺杂 ()取向 压电响应
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