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题名低噪声触针式表面粗糙度探测系统及测量不确定度分析
被引量:4
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作者
史舟淼
张树
施玉书
皮磊
胡佳成
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机构
中国计量大学
中国计量科学研究院
深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第9期1122-1127,共6页
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基金
国家重点研发项目(2018YFF0212300)
质量技术基础能力建设(ANL2003)。
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文摘
为了提升现有触针式表面粗糙度测量仪的计量能力,从降低仪器噪声水平的角度出发,研制了具有低噪声、无阿贝误差特性的触针式表面粗糙度探测系统。该系统采用样品扫描的方式进行接触测量,利用高精度电容传感器对触针的垂直运动进行实时测量,从而表征被测物的真实微观表面,实现了纳米尺度测量下的低噪声水平。系统使用校准触针式表面粗糙度测量仪的标准样板进行R_(a)测量和不确定度评估,结果表明:对Type C3标准样板测量的扩展不确定度U=2.8 nm(k=2)。
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关键词
计量学
表面粗糙度
触针式测量仪
低噪声探测系统
Type
C3标准样板
不确定度
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Keywords
metrology
stylus surface roughness measurement instrument
low noise probing system
type C3 standard sample
uncertainty
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分类号
TB921
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名基于权重自适应算法的高速弱光分析系统
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作者
刘超
祝连庆
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机构
北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院
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出处
《北京信息科技大学学报(自然科学版)》
2017年第2期16-19,共4页
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基金
国家自然科学基金重点项目(51535002)
北京市自然科学基金青年基金项目(4164084)
北京市教育委员会科技计划一般项目(KM201611232006)
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文摘
为实现高速弱光信号的实时精确探测与自动分析,设计了基于权重自适应算法的高速弱光信号检测系统。首先,设计了低噪声的前置光电转换电路,在最大程度上保证了信噪比;然后,利用数字直流恢复电路对信号进行直流恢复,利用程控放大以及可控滤波电路为后续AD转换电路提供放大后以及放大前的两路信号;最后,利用权重自适应算法,对2路输入信号进行处理。实验表明,整套系统能对0.1 mW、100 kHz的高速小信号进行准确采集。
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关键词
高速弱光
数字直流恢复
低噪声探测
权重自适应算法
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Keywords
high-speed dim light
digital DC restore : low-noise detection
adaptive weight algorithm
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
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