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电容式硅基MEMS传声器的结构优化设计
被引量:
1
1
作者
沈国豪
张卫平
+2 位作者
刘武
魏志方
邹逸飞
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第12期912-917,共6页
微电子机械系统(MEMS)传声器是一种将音频信号转换为电信号的微型传感器。为了得到较高灵敏度和信噪比(SNR)的传声器,同时又能保证其可靠性,设计并制备了一种结构优化的电容式硅基MEMS传声器。将两种特殊结构相结合,对电容式硅基MEMS传...
微电子机械系统(MEMS)传声器是一种将音频信号转换为电信号的微型传感器。为了得到较高灵敏度和信噪比(SNR)的传声器,同时又能保证其可靠性,设计并制备了一种结构优化的电容式硅基MEMS传声器。将两种特殊结构相结合,对电容式硅基MEMS传声器的带孔振动膜结构进行了优化。振动膜采用厚度各异的掺杂多晶硅-非掺杂多晶硅-掺杂多晶硅的特殊膜结构以得到低应力振动膜。采用特殊的防粘连结构以防止为了提高灵敏度可能带来的粘连现象。结构优化后的MEMS传声器分别采用顶部封装和底部封装两种方式进行封装,对实验样品进行测试,结果显示其灵敏度约为-41 dB,信噪比约为64 dB,参数值均符合市场行业标准,此MEMS传声器结构具有可行性。
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关键词
微电子机械系统(MEMS)器件
电容式传声器
低应力振动膜
防粘连结构
顶(底)端开口封装
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职称材料
题名
电容式硅基MEMS传声器的结构优化设计
被引量:
1
1
作者
沈国豪
张卫平
刘武
魏志方
邹逸飞
机构
微米/纳米加工技术国家级重点实验室
上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第12期912-917,共6页
文摘
微电子机械系统(MEMS)传声器是一种将音频信号转换为电信号的微型传感器。为了得到较高灵敏度和信噪比(SNR)的传声器,同时又能保证其可靠性,设计并制备了一种结构优化的电容式硅基MEMS传声器。将两种特殊结构相结合,对电容式硅基MEMS传声器的带孔振动膜结构进行了优化。振动膜采用厚度各异的掺杂多晶硅-非掺杂多晶硅-掺杂多晶硅的特殊膜结构以得到低应力振动膜。采用特殊的防粘连结构以防止为了提高灵敏度可能带来的粘连现象。结构优化后的MEMS传声器分别采用顶部封装和底部封装两种方式进行封装,对实验样品进行测试,结果显示其灵敏度约为-41 dB,信噪比约为64 dB,参数值均符合市场行业标准,此MEMS传声器结构具有可行性。
关键词
微电子机械系统(MEMS)器件
电容式传声器
低应力振动膜
防粘连结构
顶(底)端开口封装
Keywords
micro-electromechanical system(MEMS) device
condenser microphone
low stress diaphragm
anti-adhesion structure
top(bottom) opening package
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
TN641.2 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
电容式硅基MEMS传声器的结构优化设计
沈国豪
张卫平
刘武
魏志方
邹逸飞
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2018
1
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职称材料
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