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低氟溶胶-凝胶法制备Φ76.2mm YBCO薄膜 被引量:2
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作者 雷黎 赵高扬 +1 位作者 刘晓梅 赵娟娟 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1116-1120,共5页
采用低氟溶胶-凝胶法在Φ76.2mm的LaAlO3(LAO)单晶衬底上制备YBCO薄膜,然后对Φ76.2mm的YBCO薄膜样品的微观结构、膜厚及超导性能进行均匀性测试分析。结果表明:所制备的薄膜厚度均匀并具有较好的c轴外延生长取向和均匀的超导电性能。
关键词 低氟溶胶-凝胶法 YBCO薄膜 大面积 外延生长
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