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加压精馏除去四氟化碳中六氟乙烷等氟碳杂质的研究 被引量：2
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作者 李耀东 《低温与特气》 CAS 2004年第2期21-24,共4页
讨论了通过低温加压精馏(-60℃、2 0MPa)除去四氟化碳中六氟乙烷等氟碳杂质,以达到4N级四氟化碳对氟碳杂质浓度的要求。
关键词 四氟化碳 低温加压精馏 氟碳杂质
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