光化学气相沉积薄膜的生长机理及其研究进展

近年，作为固体表面一项新的低温成膜工艺，光化学气相沉积已经取得了显著进展。本文从光化学原理角度出发，介绍了光化学气相沉积反应的能量过程及生长机理，并展望了它的今后发展前景。