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低温多晶硅薄膜的制备评述 被引量:3
1
作者 杨定宇 蒋孟衡 杨军 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期298-301,共4页
低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS-TFT)驱动技术是实现大尺寸全彩平板显示的必由之路。然而,传统的低温多晶硅薄膜制作工艺存在着工序复杂、薄膜均匀性差、可能有金属污染且造价昂贵等问题。因此,有必要研发新一代的低温多晶硅薄膜制备工艺以... 低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS-TFT)驱动技术是实现大尺寸全彩平板显示的必由之路。然而,传统的低温多晶硅薄膜制作工艺存在着工序复杂、薄膜均匀性差、可能有金属污染且造价昂贵等问题。因此,有必要研发新一代的低温多晶硅薄膜制备工艺以期进一步提高薄膜质量,降低驱动成本。本文首先介绍了金属诱导横向晶化法(MILC)和准分子激光晶化法(ELA)制备低温多晶硅薄膜的原理,分析了两者各自的优缺点。接着,重点阐述了电感耦合等离子体化学气相沉积法(ICP-CVD)的工作原理和特点,并介绍了目前ICP-CVD在低温多晶硅薄膜制备上所取得的进展。 展开更多
关键词 低温多晶硅薄膜 金属诱导横向晶化 准分子激光晶化 电感耦合等离子体化学气相沉积
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低温多晶硅薄膜制备技术应用进展 被引量:1
2
作者 杨定宇 蒋孟衡 涂小强 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第8期8-11,共4页
系统介绍了金属诱导横向晶化法、准分子激光晶化法、触媒化学气相沉积法(Cat-CVD)以及电感耦合等离子体化学气相沉积法(ICP-CVD)制备低温多晶硅薄膜的原理及进展。对不同制备工艺的优势和不足进行了比较,重点讨论了Cat-CVD和ICP-CVD在... 系统介绍了金属诱导横向晶化法、准分子激光晶化法、触媒化学气相沉积法(Cat-CVD)以及电感耦合等离子体化学气相沉积法(ICP-CVD)制备低温多晶硅薄膜的原理及进展。对不同制备工艺的优势和不足进行了比较,重点讨论了Cat-CVD和ICP-CVD在实用化中需克服的技术问题。对上述制备方法的应用前景作了评述和展望。 展开更多
关键词 半导体技术 低温多晶硅薄膜 综述 金属诱导横向晶化 准分子激光晶化 触媒化学气相沉积 电感耦合等离子体化学气相沉积
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低温p-Si薄膜的制备研究 被引量:1
3
作者 荆海 邱法斌 +1 位作者 刘传珍 付国柱 《世界电子元器件》 2001年第11期11-12,共2页
引言 近年来,有源液晶显示技术在液晶显示产业和研究领域都独占鳌头.在有源液晶显示技术中,多晶硅薄膜因高迁移率展现出独特的优势,它的器件尺寸小,可以获得更高的开口率和分辨率;由于迁移率的提高可以将周边驱动集成于显示板内部,可以... 引言 近年来,有源液晶显示技术在液晶显示产业和研究领域都独占鳌头.在有源液晶显示技术中,多晶硅薄膜因高迁移率展现出独特的优势,它的器件尺寸小,可以获得更高的开口率和分辨率;由于迁移率的提高可以将周边驱动集成于显示板内部,可以有效降低材料成本,同时LCD整体的重量和厚度将会大幅度的减少. 展开更多
关键词 低温p-Si薄膜 多晶硅薄膜 金属诱导法
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低温多晶硅薄膜的制备工艺研究
4
作者 杨定宇 蒋孟衡 杨军 《真空》 CAS 北大核心 2008年第1期41-44,共4页
低温多晶硅薄膜是制备高性能薄膜晶体管的首选材料,由其制成的薄膜晶体管由于在平板显示器件驱动中所展现的优越性能而受到广泛关注。本文系统介绍了低温多晶硅薄膜的三种制备方法—金属诱导横向晶化法、准分子激光晶化法和电感耦合等... 低温多晶硅薄膜是制备高性能薄膜晶体管的首选材料,由其制成的薄膜晶体管由于在平板显示器件驱动中所展现的优越性能而受到广泛关注。本文系统介绍了低温多晶硅薄膜的三种制备方法—金属诱导横向晶化法、准分子激光晶化法和电感耦合等离子体化学气相沉积法的原理和研究进展,比较了它们之间各自的优缺点,最后对该领域的发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 低温多晶硅薄膜 金属诱导横向晶化 准分子激光晶化 电感耦合等离子体化学气相沉积
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柔性低温多晶硅薄膜晶体管的弯曲稳定性 被引量:2
5
作者 岳致富 吴勇 +3 位作者 李喜峰 杨祥 姜姝 许云龙 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期1205-1209,共5页
研究了以聚酰亚胺为基板的p型低温多晶硅薄膜晶体管在不同弯曲半径下的偏压稳定性。当曲率半径从15 mm变到3 mm时,在拉伸弯曲状态下,阈值电压和平坦时保持一致(Vth=-1.34 V),迁移率μsat从45.65 cm^2/(V·s)降到45.17 cm^2/(V·... 研究了以聚酰亚胺为基板的p型低温多晶硅薄膜晶体管在不同弯曲半径下的偏压稳定性。当曲率半径从15 mm变到3 mm时,在拉伸弯曲状态下,阈值电压和平坦时保持一致(Vth=-1.34 V),迁移率μsat从45.65 cm^2/(V·s)降到45.17 cm^2/(V·s),开关比增大;在压缩弯曲状态下,转移特性曲线和平坦状态保持了非常好的一致性。在最小弯曲半径为3 mm时,进行了正负偏压稳定性测试,结果表明,器件依然具有很好的稳定性。 展开更多
关键词 柔性 低温多晶硅薄膜晶体管 低温多晶硅 弯曲 稳定性
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低温微晶薄膜型磷化液研究 被引量:4
6
作者 曾伟珍 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期41-43,共3页
根据磷化工艺中各项指标的相互关系 ,确定了低温磷化基础液配方 ,并研制出稳定、无氯积累 ,在低温下具有高加速性能的加速性以及晶粒细化剂。
关键词 低温 磷化 基础配方 促进剂 稳定剂 细化剂 低温微晶薄膜型磷化液
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不同宽长比的柔性LTPS TFT的电应力可靠性
7
作者 张之壤 朱慧 +3 位作者 刘行 张轶群 徐朝 郑文轩 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第6期589-595,共7页
为了研究不同宽长比的柔性低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)的电应力可靠性,测试了器件的I-V特性,以表征器件在强电场直流应力下由于自热效应和热载流子效应带来的电学性能退化。通过瞬态电流法表征了器件在强电场直流应力下的时间常数谱... 为了研究不同宽长比的柔性低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)的电应力可靠性,测试了器件的I-V特性,以表征器件在强电场直流应力下由于自热效应和热载流子效应带来的电学性能退化。通过瞬态电流法表征了器件在强电场直流应力下的时间常数谱,并对其产生的新陷阱进行定位,分析了产生陷阱的内在机理。结果表明,在相同的强电场直流应力下宽长比为3/2.5的器件,其电学参数变化最大,自热效应以及热载流子效应带来的影响也最大。自热效应导致器件性能退化的主要原因是较大的栅源电压导致Si/SiO2界面处和栅氧化层中的陷阱增多,而热载流子效应导致器件性能退化的主要原因则是由于较大的漏源电压使得漏极晶界陷阱态密度急剧升高。 展开更多
关键词 柔性低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT) 自热效应 热载流子效应 瞬态电流 强电场直流应力
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天线几何结构对低温GaAs光电导THz发射的影响
8
作者 崔利杰 曾一平 +5 位作者 王保强 朱战平 石小溪 黄振 李淼 赵国忠 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期52-54,共3页
研究了用飞秒激光激发低温生长的GaAs(LT-GaAs)大孔径光电导天线产生太赫兹(THz)波的辐射特性。通过设计七种大孔径天线结构,来研究天线的几何结构对THz发射性能的影响。实验发现七种天线的有效频谱宽度都达到了3THz,而且七种不同几何... 研究了用飞秒激光激发低温生长的GaAs(LT-GaAs)大孔径光电导天线产生太赫兹(THz)波的辐射特性。通过设计七种大孔径天线结构,来研究天线的几何结构对THz发射性能的影响。实验发现七种天线的有效频谱宽度都达到了3THz,而且七种不同几何形状天线的THz发射谱与频率谱并没有太显著的差别。 展开更多
关键词 太赫兹 低温砷化镓薄膜 光电导材料 时域光谱测试
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多晶硅薄膜晶体管器件退化机制研究进展
9
作者 薛敏 王明湘 《电子器件》 EI CAS 2006年第3期654-659,共6页
结合近几年来国际上对于低温多晶硅薄膜晶体管器件可靠性开展的一些有代表性的研究工作,对其中几种常见的退化现象:自加热、热载流子和负偏置温度不稳定性做了分析和归纳,介绍了其退化机制及退化模型,并总结了它们在一般情况下对器件性... 结合近几年来国际上对于低温多晶硅薄膜晶体管器件可靠性开展的一些有代表性的研究工作,对其中几种常见的退化现象:自加热、热载流子和负偏置温度不稳定性做了分析和归纳,介绍了其退化机制及退化模型,并总结了它们在一般情况下对器件性能的影响及各自的典型应力条件。本文针对目前研究较多的自加热退化和热载流子退化机制做了更深入的探讨,比较了两者的差别,并介绍了它们在反转模式下出现的退化恢复现象。此外,文中还介绍了交流应力下的热载流子退化现象,以及在一些特殊器件结构中的退化现象。 展开更多
关键词 低温多晶硅薄膜晶体管 可靠性 自加热退化 热载流子退化
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东芝低温多晶硅TFT技术
10
作者 袁宝明 《显示器件技术》 2002年第1期53-54,共2页
关键词 东芝公司 低温多晶硅薄膜晶体管 TFT技术 液晶显示器 LCD 响应速度 场效应迁移率
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同步辐射与下一代微电子技术
11
作者 包宗明 张秀珠 《科学》 1997年第2期52-54,共3页
微电子技术发展的核心是单个器件尺寸的等比例缩小和单片芯片上的器件数目不断增加。为了增加器件密度,器件和布线已逐渐由平面结构向多层立体结构发展。异质结、超晶格、量子阱等新型器件发展也很迅速。为了达到以上目的,除了要求不断... 微电子技术发展的核心是单个器件尺寸的等比例缩小和单片芯片上的器件数目不断增加。为了增加器件密度,器件和布线已逐渐由平面结构向多层立体结构发展。异质结、超晶格、量子阱等新型器件发展也很迅速。为了达到以上目的,除了要求不断缩小光刻线宽,还需开发低温超薄膜工艺、异质外延工艺、微区、微结构分析测试等核心技术。同步辐射为以上需要提供了理想的新型光源。美国的IBM,AT&.T。 展开更多
关键词 微电子技术 同步辐射 超微细光刻 低温薄膜
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本刊特邀编委介绍(三)
12
《微电子技术》 1999年第2期21-21,共1页
卢道明,男,教授。1968年台湾成昆大学理学士,1971年乌司特综合工业大学理硕土,1976年威斯康星大学哲学博士。目前任美国罗斯利尔综合工业大学教授、系主任。从事研究不良表面、覆盖层和动态生长面的衍射;表面、界面和薄膜序列;低... 卢道明,男,教授。1968年台湾成昆大学理学士,1971年乌司特综合工业大学理硕土,1976年威斯康星大学哲学博士。目前任美国罗斯利尔综合工业大学教授、系主任。从事研究不良表面、覆盖层和动态生长面的衍射;表面、界面和薄膜序列;低温薄膜的离子束/局部离子束淀积;微电子和光子应用金属、陶瓷和聚合薄膜的生长及表征。1986年获得罗斯利尔早期发展奖,1988年获得半导体研究公司(SRC)发明奖,1993年获得利罗斯利尔集成电子专科奖;1994年为纽约科学院成员和美国物理协会成员,1995年为美国真空协会成员。曾编辑、出版书刊,发表230篇技术论文,3项专利,130场次全国。 展开更多
关键词 离子束淀积 编委 威斯康星大学 低温薄膜 纽约科学院 国际性会议 早期发展 集成电子 技术论文 生长面
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高辐射强度的带THz扼流圈的偶极天线阵列模拟分析(英文) 被引量:1
13
作者 陈景源 林中晞 +2 位作者 林琦 徐玉兰 苏辉 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期657-662,共6页
为了提高太赫兹辐射强度,设计了带THz扼流圈的偶极天线阵列.模拟结果表明,增加直线阵的阵元数对平均匹配效率影响很小,却能线性增加相干辐射强度.加入THz扼流圈可减小进入到传输线的交流分量,进而减小共振频率的偏移,使平均匹配效率提... 为了提高太赫兹辐射强度,设计了带THz扼流圈的偶极天线阵列.模拟结果表明,增加直线阵的阵元数对平均匹配效率影响很小,却能线性增加相干辐射强度.加入THz扼流圈可减小进入到传输线的交流分量,进而减小共振频率的偏移,使平均匹配效率提升了两倍.相比于网格排列的平面阵,交错排列的阵元在垂直方向上具有更小的耦合,THz发射谱更窄.通过使用聚酰亚胺透镜代替硅透镜,可有效提高输入电阻,并将总效率由25%提高到35%. 展开更多
关键词 THz偶极天线阵列 低温砷化镓薄膜 THz扼流圈 高输入电阻 聚酰亚胺透镜 高辐射强度
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Low-Temperature Growth of ZnO Films on GaAs by Metal Organic Chemical Vapor Deposition
14
作者 史慧玲 马骁宇 +1 位作者 胡理科 崇峰 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期12-16,共5页
ZnO thin films were grown on GaAs (001) substrates by metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) at low temperatures ranging from 100 to 400℃. DEZn and 1-12 O were used as the zinc precursor and oxygen precu... ZnO thin films were grown on GaAs (001) substrates by metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) at low temperatures ranging from 100 to 400℃. DEZn and 1-12 O were used as the zinc precursor and oxygen precursor, respectively. The effects of the growth temperatures on the growth characteristics and optical properties of ZnO films were investigated. The X-ray diffraction measurement (XRD) results indicated that all the thin films were grown with highly c- axis orientation. The surface morphologies and crystal properties of the films were critically dependent on the growth temperatures. Although there was no evidence of epitaxial growth, the scanning electron microscopy (SEM) image of ZnO film grown at 400℃ revealed the presence of ZnO microcrystallines with closed packed hexagon structure. The photoluminescence spectrum at room temperature showed only bright band-edge (3. 33eV) emissions with little or no deep-level e- mission related to defects. 展开更多
关键词 metal-organic chemical vapor deposition ZnO film GAAS LOW-TEMPERATURE
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平板显示技术论坛LCD/PDP/OLED的综合比较 被引量:3
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作者 郑圣德 《电子工艺技术》 2005年第5期304-307,共4页
分析比较FPD行业最具代表性的LCD/PDP/OLED的类型、用途、基本原材料和显示原理,并整理列出LCD/PDP/OLED的中国和世界主要厂商,最后就当前LCD/PDP/OLED发展的市场热点进行叙述。
关键词 低温多晶硅薄膜晶体管 液晶电视 等离子电视
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Low-Temperature Plasma Induced Grafting of 2-Methacryloyloxyethyl Phosphorylcholine onto Poly(tetrafluoroethylene) Films 被引量:2
16
作者 赵蕴慧 王芬 何祥鹏 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2009年第5期355-359,共5页
Modification of poly(tetrafluoroethylene)(PTFE) films with 2-methacryloyloxyethyl phosphorylcholine(MPC) was performed by low-temperature plasma treatment and grafting polymerization.Surface properties of PTFE were ch... Modification of poly(tetrafluoroethylene)(PTFE) films with 2-methacryloyloxyethyl phosphorylcholine(MPC) was performed by low-temperature plasma treatment and grafting polymerization.Surface properties of PTFE were characterized by attenuated total reflectance Fourier transform infrared(ATR-FTIR) spectra,X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) ,and static contact angle.The results show that MPC has been grafted onto PTFE film surface successfully.Contact angle for the modified PTFE films in the water decreased from 108°to 58.25°,while surface energy increased from 17.52 mN/m to 45.47 mN/m.The effects of plasma treatment time,monomer concentration and grafting time on degree of grafting were determined.In the meanwhile,blood compatibility of the PTFE films was studied by checking thrombogenic time of blood plasma. 展开更多
关键词 low-temperature plasma poly(tetrafluoroethylene) (PTFE) GRAFTING 2-methacryloyloxyethyl phosphorylcholine (MPC)
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2020年手机面板营收中LTPS液晶显示占比将高达一半
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作者 Tiger 《电子产品世界》 2014年第2期7-7,共1页
随着智能手机的功能越来越多,低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示屏(LTPS液晶显示屏)开始逐渐占领手机面板市场。与其他面板相比.以LTPS技术为基础的显示屏不仅分辨率高,而且省电,但也因此它的单价更高。
关键词 液晶显示屏 LTPS技术 智能手机 面板 低温多晶硅薄膜晶体管 分辨率
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爱普生推出A4尺寸电子纸
18
《新材料产业》 2008年第10期83-84,共2页
日前,爱普生宣布成功开发出13.4英寸(对角线长度)电子纸,分辨率达到3104×4128,精度高达400dpi,是当今世界上分辨率最高的电子纸。这款新品采用了E—Ink公司的电子墨水技术,搭配爱普生的低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS—TFT)... 日前,爱普生宣布成功开发出13.4英寸(对角线长度)电子纸,分辨率达到3104×4128,精度高达400dpi,是当今世界上分辨率最高的电子纸。这款新品采用了E—Ink公司的电子墨水技术,搭配爱普生的低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS—TFT)制造的外围驱动电路有利于形成带窄边的简单结构(包括驱动电路), 展开更多
关键词 电子纸 爱普生 低温多晶硅薄膜晶体管 尺寸 驱动电路 墨水技术 分辨率 对角线
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Preparation of ZAO film by low-temperature hydrothermal approach and its electrical property 被引量:1
19
作者 薛峰 刘江伟 +1 位作者 刘建华 于美 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2010年第1期47-50,共4页
Al-doped ZnO (ZAO) films were successfully deposited on the surface of common glasses by using low-temperature hydrothermal approach. In the reaction solution, the molar ratio of Al3+ to Zn2+ was 1∶100, the annealing... Al-doped ZnO (ZAO) films were successfully deposited on the surface of common glasses by using low-temperature hydrothermal approach. In the reaction solution, the molar ratio of Al3+ to Zn2+ was 1∶100, the annealing temperature and time were 200 ℃ and 2-6 h, respectively. The structure of the thin films was identified by X-ray diffraction (XRD), the surface morphology and thickness of the thin films were observed by scanning electron microscopy (SEM), and the electrical performance of the thin films was measured by four-point probes. It was shown that the films with an average particle size of 27.53 nm had a preferential orientation along (002), Al3+ had replaced the position of Zn2+ in the lattice without forming the Al2O3 phase and its thickness was 20-25 μm. With the increased annealing time, the intensity of diffraction peaks was decreased, the film exhibited irregular surface morphology gradually, and the resistivity of ZAO films was increased. The lowest resistivity obtained in this study was 3.45×10-5Ω·cm. 展开更多
关键词 transparent conducting oxide films ZAO hydrothermal approach electrical properties
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东芝公司开发出世界首个大型柔性液晶显示屏
20
《广播电视信息》 2002年第10期66-66,共1页
关键词 东芝公司 柔性液晶显示屏 曲面屏幕 可折叠LCD 低温多晶硅有源矩阵薄膜晶体管 TFT
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