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压敏电阻用于低真空测量的研究
被引量:
2
1
作者
赵兴钰
王逊
石自光
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1997年第5期330-335,共6页
研究了将压敏电阻用于低真空的测量,包括规管和电路,研制成了新型DL-4型真空计。该计测量范围为102~105Pa,性能好,价格便宜。介绍了该真空计的原理、结构与特性。
关键词
压敏电阻
压力传感器
低真空计
下载PDF
职称材料
DL-4 型真空计
被引量:
1
2
作者
赵兴钰
王逊
石自光
《真空》
CAS
北大核心
1997年第4期36-40,共5页
DL-4型真空计是用压敏电阻作为传感器的低真空计,测量范围为102~105Pa,该计性能好,价格便宜。本文介绍该真空计的原理结构与特性。
关键词
压敏电阻
压力传感器
低真空计
真空计
下载PDF
职称材料
题名
压敏电阻用于低真空测量的研究
被引量:
2
1
作者
赵兴钰
王逊
石自光
机构
北京大学电子学系
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1997年第5期330-335,共6页
文摘
研究了将压敏电阻用于低真空的测量,包括规管和电路,研制成了新型DL-4型真空计。该计测量范围为102~105Pa,性能好,价格便宜。介绍了该真空计的原理、结构与特性。
关键词
压敏电阻
压力传感器
低真空计
Keywords
Piezoresistor,Pressure sensor,Low vacuum gauge
分类号
TB772 [一般工业技术—真空技术]
TN379 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
DL-4 型真空计
被引量:
1
2
作者
赵兴钰
王逊
石自光
机构
北京大学电子学系
出处
《真空》
CAS
北大核心
1997年第4期36-40,共5页
文摘
DL-4型真空计是用压敏电阻作为传感器的低真空计,测量范围为102~105Pa,该计性能好,价格便宜。本文介绍该真空计的原理结构与特性。
关键词
压敏电阻
压力传感器
低真空计
真空计
分类号
TB772 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
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出处
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1
压敏电阻用于低真空测量的研究
赵兴钰
王逊
石自光
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1997
2
下载PDF
职称材料
2
DL-4 型真空计
赵兴钰
王逊
石自光
《真空》
CAS
北大核心
1997
1
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职称材料
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