基于MEMS的非分光红外低硫传感器研究与设计

二氧化硫等含硫气体的红外吸收峰在7~10μm的波段,该波段正好与人体红外的波段重合,属于敏感区域,可用于军事应用,因此发达国家对我国实行了长期的技术封锁;特别是低硫的红外检测传感器价格昂贵,因此,开发检出限接近10 mg/L的高精度低硫传感器迫在眉睫。该文以煤燃烧后的含硫气体检测为研究对象,通过设计精密的红外气室、高精密的恒温室、微弱信号处理电路以及补偿电路,采用MEMS技术,设计完成了一款高精密的非分光红外低硫集成传感器。经检测,该传感器的检出限达到近10 mg/L。低硫测量平均值为0.382%,标准差(SD)为0.006%,相对标准偏差(RSD)为1.2%,瓶内相对标准偏差(RSD)为0.9%。实现了低硫的高精密测试。