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二维混合结构网格电场数值模拟及其在低能电子枪设计中的应用
被引量:
5
1
作者
王岩
赵伟霞
+2 位作者
邓晨晖
刘俊标
韩立
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第1期1-6,共6页
在半导体行业中,低能电子枪是样品二次发射系数测量和样品表面电荷中和的关键部件。为了给低能电子枪提供设计参考,本文采用二维混合结构网格电场数值模拟计算方法构造了不同结构和栅极电位的电子枪模型,研究了不同模型结构对束斑和束...
在半导体行业中,低能电子枪是样品二次发射系数测量和样品表面电荷中和的关键部件。为了给低能电子枪提供设计参考,本文采用二维混合结构网格电场数值模拟计算方法构造了不同结构和栅极电位的电子枪模型,研究了不同模型结构对束斑和束流的影响。结果表明,随着栅极和阳极间距的增大,电子束的放大倍率和束流会降低;随着栅极孔径的增加,电子束的放大倍率会降低,束流会逐渐达到饱和点;随着栅极电位增大,栅极对电子束的会聚作用逐渐减弱,电子束的束流呈上升趋势并最终达到饱和点。
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关键词
低能电子枪
二次
电子
发射系数
电荷中和
混合网格
数值模拟
下载PDF
职称材料
一种低能量远焦距电子枪技术
2
作者
吴伟
刘超
+2 位作者
张贤国
张爱兵
孙越强
《空间科学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第1期144-155,共12页
针对可移动非接触式月球表面电位探测器的电位无扰动测量单元对低能远焦电子束的需求,设计了低能远焦电子枪。以平板二极管电子枪为电子源,匹配两个静电聚焦透镜,将电子源引出的发散电子束聚焦为需要的形状,并加速至所需能量。优化电子...
针对可移动非接触式月球表面电位探测器的电位无扰动测量单元对低能远焦电子束的需求,设计了低能远焦电子枪。以平板二极管电子枪为电子源,匹配两个静电聚焦透镜,将电子源引出的发散电子束聚焦为需要的形状,并加速至所需能量。优化电子枪的几何参数以及施加在电极上的电位,电子枪引出的电子束能量在5~500 eV内,并且具有良好的电子光路特性。电子束能量为5 eV时,初始半径r为5 mm,束腰至电子枪出口的距离p约为133 mm。随着能量增加,r逐渐减小至500 eV时的3 mm左右,p逐渐减小至105 mm。电子束经月球表面电场反射被电子收集平极接收,仿真数据和理论分析结果均表明,电子枪的工作距离为400~600 mm,平板接收的电子占发射电子比例在96%以上。电子枪结构质量仅408 g,满足探测器对电子枪的质量需求。
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关键词
月球表面电位探测器
低能
远焦
电子枪
静电透镜
数值仿真
下载PDF
职称材料
如何校准发光二极管的光束
3
作者
杨英惠
《现代材料动态》
2002年第9期12-12,共1页
关键词
校准
发光二极管
光束
LED
低能电子枪
冲洗技术
原文传递
题名
二维混合结构网格电场数值模拟及其在低能电子枪设计中的应用
被引量:
5
1
作者
王岩
赵伟霞
邓晨晖
刘俊标
韩立
机构
中国科学院电工研究所
中国科学院大学
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第1期1-6,共6页
基金
国家科技重大专项(2018ZX02201)
中国科学院科研仪器设备研制项目资助(YJKYYQ20170004).
文摘
在半导体行业中,低能电子枪是样品二次发射系数测量和样品表面电荷中和的关键部件。为了给低能电子枪提供设计参考,本文采用二维混合结构网格电场数值模拟计算方法构造了不同结构和栅极电位的电子枪模型,研究了不同模型结构对束斑和束流的影响。结果表明,随着栅极和阳极间距的增大,电子束的放大倍率和束流会降低;随着栅极孔径的增加,电子束的放大倍率会降低,束流会逐渐达到饱和点;随着栅极电位增大,栅极对电子束的会聚作用逐渐减弱,电子束的束流呈上升趋势并最终达到饱和点。
关键词
低能电子枪
二次
电子
发射系数
电荷中和
混合网格
数值模拟
Keywords
Low Energy Electron Gun
Secondary Electron Emission Coefficient
Charge Neutralization
Mixed Mesh
Numerical Simulation
分类号
O462.2 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
一种低能量远焦距电子枪技术
2
作者
吴伟
刘超
张贤国
张爱兵
孙越强
机构
中国科学院国家空间科学中心
中国科学院大学天文与空间科学学院
天基空间环境探测北京市重点实验室
中国科学院空间环境态势感知技术重点实验室
出处
《空间科学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第1期144-155,共12页
基金
国家重点研发计划项目(2020YFE0202100)
月球空间环境要素探测技术项目(E190002A01)共同资助。
文摘
针对可移动非接触式月球表面电位探测器的电位无扰动测量单元对低能远焦电子束的需求,设计了低能远焦电子枪。以平板二极管电子枪为电子源,匹配两个静电聚焦透镜,将电子源引出的发散电子束聚焦为需要的形状,并加速至所需能量。优化电子枪的几何参数以及施加在电极上的电位,电子枪引出的电子束能量在5~500 eV内,并且具有良好的电子光路特性。电子束能量为5 eV时,初始半径r为5 mm,束腰至电子枪出口的距离p约为133 mm。随着能量增加,r逐渐减小至500 eV时的3 mm左右,p逐渐减小至105 mm。电子束经月球表面电场反射被电子收集平极接收,仿真数据和理论分析结果均表明,电子枪的工作距离为400~600 mm,平板接收的电子占发射电子比例在96%以上。电子枪结构质量仅408 g,满足探测器对电子枪的质量需求。
关键词
月球表面电位探测器
低能
远焦
电子枪
静电透镜
数值仿真
Keywords
Lunar surface potential detector
Low energy tele-focus electron gun
Electrostatic lens
Numerical simulation
分类号
V447 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
下载PDF
职称材料
题名
如何校准发光二极管的光束
3
作者
杨英惠
出处
《现代材料动态》
2002年第9期12-12,共1页
关键词
校准
发光二极管
光束
LED
低能电子枪
冲洗技术
分类号
TN31 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
二维混合结构网格电场数值模拟及其在低能电子枪设计中的应用
王岩
赵伟霞
邓晨晖
刘俊标
韩立
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
5
下载PDF
职称材料
2
一种低能量远焦距电子枪技术
吴伟
刘超
张贤国
张爱兵
孙越强
《空间科学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
3
如何校准发光二极管的光束
杨英惠
《现代材料动态》
2002
0
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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