期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
用低能离子溅射剥层和高能离子背散射组合方法进行薄膜原位分析 被引量：2
1
作者 刘波 姜蕾 +3 位作者 周筑颖 贺勉鸿 赵国庆 宗祥福 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期164-169,共6页
介绍了将离子枪组合于卢瑟福背散射分析靶室中构成Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ／ＲＢＳ原位分析实验装置，用低能离子溅射剥层与高能离子背散射组合对薄膜样品进行成分和深埋层分析方法．给出了对样品分析的三个例子．对Ａｕ／Ｓｉ 样品的分... 介绍了将离子枪组合于卢瑟福背散射分析靶室中构成Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ／ＲＢＳ原位分析实验装置，用低能离子溅射剥层与高能离子背散射组合对薄膜样品进行成分和深埋层分析方法．给出了对样品分析的三个例子．对Ａｕ／Ｓｉ 样品的分析着重讨论了Ａｕ 在Ａｒ＋ 溅射剥层时的溅射速率；对Ｓｉ／ＧｅＳｉ／Ｓｉ 和ＷＳｉｘ／ＳｉＯ２／Ｓｉ 样品的深埋层分析，提高了样品分析的深度分辨率． 展开更多
关键词 薄膜原位分析 低能离子溅射剥层 高能离子背散射
原文传递
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部