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基于飞秒激光的高速双光子刻写技术
被引量:
3
1
作者
杨顺华
丁晨良
+4 位作者
朱大钊
杨臻垚
刘勇
匡翠方
刘旭
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期34-55,共22页
基于飞秒激光的双光子聚合(two-photon polymerization,TPP)加工技术一直是三维微纳加工技术中的研究热点。随着生命科学、材料工程、微纳光学等领域对复杂、大面积微型三维器件制备需求的提升,TPP加工效率不足的问题日益严重,加工时间...
基于飞秒激光的双光子聚合(two-photon polymerization,TPP)加工技术一直是三维微纳加工技术中的研究热点。随着生命科学、材料工程、微纳光学等领域对复杂、大面积微型三维器件制备需求的提升,TPP加工效率不足的问题日益严重,加工时间过长不仅造成加工结构的不稳定,更是严重阻碍这些重要三维器件的进一步推广应用。本文以TPP加工效率提升方面的研究工作为主线,分别从单光束刻写、并行多光束刻写、面曝光和体曝光四个方式进行总结与对比,阐述相应的光学系统设计、刻写策略、刻写精度与通量等方面的研究情况,总结各种技术的优势与劣势,同时展望未来发展趋势。
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关键词
飞秒激光直写
双光子光刻
单光束扫描
多焦点并行
面
曝光
体曝光
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职称材料
题名
基于飞秒激光的高速双光子刻写技术
被引量:
3
1
作者
杨顺华
丁晨良
朱大钊
杨臻垚
刘勇
匡翠方
刘旭
机构
之江实验室智能芯片与器件研究中心
浙江大学光电科学与工程学院极端光学技术与仪器全国重点实验室
上海电力大学电子与信息工程学院
浙江大学杭州国际科创中心
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期34-55,共22页
基金
国家重点研发计划资助项目(2021YFF0502700)
国家自然科学基金/青年基金资助项目(62205304,52105565,62105298)
+3 种基金
浙江省自然科学基金重大资助项目(LD21F050002)
浙江省自然科学基金/青年基金资助项目(LQ22F050015,LQ22F050017)
之江实验室重大资助项目(2020MC0AE01)
中国博士后科学基金面上资助项目(2020M671823)
文摘
基于飞秒激光的双光子聚合(two-photon polymerization,TPP)加工技术一直是三维微纳加工技术中的研究热点。随着生命科学、材料工程、微纳光学等领域对复杂、大面积微型三维器件制备需求的提升,TPP加工效率不足的问题日益严重,加工时间过长不仅造成加工结构的不稳定,更是严重阻碍这些重要三维器件的进一步推广应用。本文以TPP加工效率提升方面的研究工作为主线,分别从单光束刻写、并行多光束刻写、面曝光和体曝光四个方式进行总结与对比,阐述相应的光学系统设计、刻写策略、刻写精度与通量等方面的研究情况,总结各种技术的优势与劣势,同时展望未来发展趋势。
关键词
飞秒激光直写
双光子光刻
单光束扫描
多焦点并行
面
曝光
体曝光
Keywords
femtosecond laser direct writing
two-photon lithography
single-beam scanning
multi-focus parallelism
pattern projection
3D projection exposure
分类号
O646.5 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于飞秒激光的高速双光子刻写技术
杨顺华
丁晨良
朱大钊
杨臻垚
刘勇
匡翠方
刘旭
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2023
3
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