本文叙述了盖得的发明专利,从初期的汞扩散泵到分馏油扩散泵的演变过程。讨论了泵体结构、喷咀型式、泵油性能和几个关键技术问题。现代油扩散泵的何氏系数达0.65以上,返油率达10-5 mg/cm2.min,1 kW功率抽气量可达200 Pa L/s。最后对泵...本文叙述了盖得的发明专利,从初期的汞扩散泵到分馏油扩散泵的演变过程。讨论了泵体结构、喷咀型式、泵油性能和几个关键技术问题。现代油扩散泵的何氏系数达0.65以上,返油率达10-5 mg/cm2.min,1 kW功率抽气量可达200 Pa L/s。最后对泵的性能、结构和应用前景作了展望。展开更多