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微小型光开关侧壁反射镜光路传输效率优化方法
1
作者
徐浩然
卜瑛
+1 位作者
代俊
刘东芳
《制导与引信》
2022年第1期56-60,共5页
提出利用电感耦合等离子体和聚焦离子束刻蚀工艺相结合的加工方法,以提高微小型光开关侧壁反射镜的表面粗糙度,进而提升光路传输效率。利用扫描电子显微镜和原子力显微镜对微小型光开关侧壁反射镜表面粗糙度进行表征,并开展了光路传输...
提出利用电感耦合等离子体和聚焦离子束刻蚀工艺相结合的加工方法,以提高微小型光开关侧壁反射镜的表面粗糙度,进而提升光路传输效率。利用扫描电子显微镜和原子力显微镜对微小型光开关侧壁反射镜表面粗糙度进行表征,并开展了光路传输效率测试实验。结果表明,经聚焦离子束刻蚀后,微小型光开关侧壁反射镜表面粗糙度由190nm减小到56nm,光路传输效率由10.2%提高到39.1%。
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关键词
半导体工艺
微小型光开关
聚焦离子束
侧壁反射镜粗糙度
光路传输效率
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职称材料
题名
微小型光开关侧壁反射镜光路传输效率优化方法
1
作者
徐浩然
卜瑛
代俊
刘东芳
机构
上海无线电设备研究所
上海目标识别与环境感知工程技术研究中心
中国航天科技集团有限公司交通感知雷达技术研发中心
北京理工大学机电学院
出处
《制导与引信》
2022年第1期56-60,共5页
文摘
提出利用电感耦合等离子体和聚焦离子束刻蚀工艺相结合的加工方法,以提高微小型光开关侧壁反射镜的表面粗糙度,进而提升光路传输效率。利用扫描电子显微镜和原子力显微镜对微小型光开关侧壁反射镜表面粗糙度进行表征,并开展了光路传输效率测试实验。结果表明,经聚焦离子束刻蚀后,微小型光开关侧壁反射镜表面粗糙度由190nm减小到56nm,光路传输效率由10.2%提高到39.1%。
关键词
半导体工艺
微小型光开关
聚焦离子束
侧壁反射镜粗糙度
光路传输效率
Keywords
semiconductor technology
micro-optical switch
focused ion beam
sidewall reflector roughness
optical transmission efficiency
分类号
TN3 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微小型光开关侧壁反射镜光路传输效率优化方法
徐浩然
卜瑛
代俊
刘东芳
《制导与引信》
2022
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