动态随机存储器栅极侧壁硅化钨残留的去除工艺

动态随机存储器栅极侧壁硅化钨残留造成的短路成为制约提高产品良率及可靠性的瓶颈.为此,采用X射线荧光光谱(XRF)、扫描电镜(SEM)等检测分析手段优化硅/钨原子组成比为2.45.透射电镜(TEM)及电性参数测试结果表明,经30s、1000℃快速热处理可获得方块阻值为12Ω/cm2的硅化钨,且可刻蚀性能好.在硅化钨刻蚀前利用电子束扫描发现,15min的氢氟酸和10min浓硫酸与过氧化氢混合溶液(SPM)在300W超声波条件下的新湿法清洗工艺,能去除84.7%的表面微粒及残留聚合物.整合上述优化工艺可以将硅化钨残留造成的65nm动态随机存储器芯片失效率由31.3%降到1.9%,为研究下一代产品提供有效借鉴.

纤维桩修复上颌第一前磨牙剩余不同数目侧壁的应力分析

目的:研究上颌第一前磨牙在剩余不同数目的侧壁时,是否应采用纤维桩修复。方法:在建立左上颌第一前磨牙的有限元模型后,利用软件模拟出该牙齿分别在缺少0-4个侧壁时打桩和不打桩的模型。针对这五种情况,分别在中央窝行90°垂直加载和功能尖45°斜向加载150N的均匀力量,观察每种状态下打和不打纤维桩时剩余牙本质的应力分布状况,同时利用统计学软件统计五组模型打桩和不打桩有无统计学差异。结果:5组模型图中,在使用纤维桩的情况下,应力主要分布在纤维桩的顶端及牙颈部所对应的纤维桩处,应力从高应力区向桩尖方向逐步减小,在不使用纤维桩的情况下,牙本质的受力较小,而在力量加载相对的牙本质处,使用纤维桩比不使用纤维桩时应力有所增加;垂直加载情况下,在无侧壁和剩余1个侧壁时,P<0.05,打纤维桩和不打纤维桩差异有统计学意义,而剩余侧壁数为2-4个时,P>0.05,打纤维桩和不打纤维桩差异无统计学意义;对模型进行45°斜向加载情况下,无论剩余几个侧壁,P<0.05,提示打纤维桩和不打纤维桩均是有差别的。结论:临床上上颌第一前磨牙做过根管治疗后,均应使用纤维桩来修复。

残冠剩余侧壁数对纤维桩冠修复动态加载抗折性能的影响

目的在模拟口腔咬合的动态加载条件下,研究不同残留侧壁数对纤维桩冠修复抗折性能的影响。方法将正畸拔除的25颗下颌单根管前磨牙随机分为五组,每组按照剩余侧壁数由0到4进行制备,所有离体牙行石英纤维桩复合树脂核+金属全冠修复。用循环加载机对所有试件进行30万次载荷为50N,频率为2Hz的动态加载,然后将试件置于万能材料实验机上,用速率为1mm/min的30°角行静态加载直至试件断裂。结果各组试件抗折力值的大小顺序为4个侧壁组>3个侧壁组>2个侧壁组>1个侧壁组>0个侧壁组。0个侧壁和1个侧壁组的牙体抗折性能显著低于2个侧壁,3个侧壁和4个侧壁组,差异有统计学意义(P<0.05)。所有试件中可修复性折裂占92%(23/25),不可修复性折裂占8%(2/25)。结论当剩余2个侧壁时,修复体的抗折性能与对照组无明显差异。用纤维桩修复残冠残根时,要尽量保留牙体侧壁,以提高修复成功率。