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采用疏水材料侧壁绝缘电极的微细电解加工实验 被引量:3
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作者 胡满红 李勇 +2 位作者 张跃 王健 朱晓谷 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2013年第4期348-353,共6页
微细电解加工中工具电极和工件之间的加工间隙是影响加工效果的核心因素.工具电极侧壁施加绝缘膜的工艺方法,可显著改变侧面加工间隙内的电场分布,提高加工精度,同时保持原有的加工效率,有着良好的应用前景.本文基于仿真方法,分析了绝... 微细电解加工中工具电极和工件之间的加工间隙是影响加工效果的核心因素.工具电极侧壁施加绝缘膜的工艺方法,可显著改变侧面加工间隙内的电场分布,提高加工精度,同时保持原有的加工效率,有着良好的应用前景.本文基于仿真方法,分析了绝缘膜对端面加工间隙和侧面加工间隙的影响规律,研究了绝缘膜疏水性质对电解加工中产生的氢气泡运动的吸附作用对微细电解加工的影响.在直径为数十到数百微米的钨丝侧壁制备出可用于微细电解加工的几微米厚的硅胶疏水材料侧壁绝缘薄膜.在硝酸钠电解液中,实现了不锈钢材料上将微气泡附着于电极前端与绝缘膜结合处、保护绝缘膜和约束杂散腐蚀的微细电解端面分层扫描加工效果. 展开更多
关键词 疏水硅胶材料 侧壁绝缘 微细电解加工
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侧壁绝缘电极脉冲电解加工的实验研究 被引量:3
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作者 吴明 郭钟宁 +2 位作者 孙涛涛 罗红平 宋卿 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2015年第11期11-14,共4页
采用侧壁绝缘电极进行电解加工可以约束加工间隙内的电场,减小杂散腐蚀,提高定域性,有着良好的应用前景。从实验出发,利用侧壁绝缘的工具电极以Na NO3为电解液对0Cr18Ni9不锈钢进行窄缝的脉冲电解加工,观测不同脉冲电压峰值、脉冲频率... 采用侧壁绝缘电极进行电解加工可以约束加工间隙内的电场,减小杂散腐蚀,提高定域性,有着良好的应用前景。从实验出发,利用侧壁绝缘的工具电极以Na NO3为电解液对0Cr18Ni9不锈钢进行窄缝的脉冲电解加工,观测不同脉冲电压峰值、脉冲频率与占空比下的窄缝出入口和它们的宽度差。结果表明:出入口缝宽与出入口宽度差均随着脉冲电压峰值、占空比的增大而增大,随着脉冲频率、工具电极进给速度的增大而减小。 展开更多
关键词 侧壁绝缘 脉冲电解加工 缝宽
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微细电解加工用电极的侧壁绝缘及应用实验 被引量:11
3
作者 刘改红 李勇 +2 位作者 陈旭鹏 马晓宇 朱效谷 《电加工与模具》 2009年第4期28-31,39,共5页
介绍了一种微细电解加工用电极的侧壁绝缘方法及其应用实验。采用旋涂法在电极表面涂敷液态环氧树脂并固化处理,重复该过程形成多层绝缘薄膜,用机械磨削法去除电极端部的绝缘膜,使电极端面导电。通过基础工艺实验优化了旋涂法工艺参... 介绍了一种微细电解加工用电极的侧壁绝缘方法及其应用实验。采用旋涂法在电极表面涂敷液态环氧树脂并固化处理,重复该过程形成多层绝缘薄膜,用机械磨削法去除电极端部的绝缘膜,使电极端面导电。通过基础工艺实验优化了旋涂法工艺参数,通过对比实验验证了侧壁绝缘电极的微孔加工效果。旋涂法可制得膜厚为5~10 μm的侧壁绝缘电极,采用该电极加工可显著减小微孔直径及锥度,提高微细电解加工尺寸精度。 展开更多
关键词 微细电解加工 微细电极 侧壁绝缘 微细孔
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电极侧壁绝缘微细孔电解加工工艺研究 被引量:1
4
作者 陈伟 高峰 +1 位作者 王津 韩福柱 《电加工与模具》 2015年第A01期28-31,共4页
将超声振动技术应用于微细孔的电解加工中,以排除间隙内的加工产物,然而,超声空化现象产生的冲击力会影响电极表面的绝缘层,并加速其破坏。为提高侧壁绝缘电极的使用寿命,采用微弧氧化和阴极电泳工艺在微细钛电极表面形成由陶瓷膜和电... 将超声振动技术应用于微细孔的电解加工中,以排除间隙内的加工产物,然而,超声空化现象产生的冲击力会影响电极表面的绝缘层,并加速其破坏。为提高侧壁绝缘电极的使用寿命,采用微弧氧化和阴极电泳工艺在微细钛电极表面形成由陶瓷膜和电泳漆膜组成的双绝缘层。通过超声振动辅助微细孔电解加工实验,对电极侧壁双绝缘层的耐久性进行验证,并分析了超声振动功率、电解液浓度和加工电压对双膜侧壁绝缘电极微细孔加工精度的影响。实验表明:双绝缘层电极在超声辅助微细孔电解加工中显示了很强的绝缘耐久性;当超声振动功率超过一定值后,微细孔电解加工能稳定进行,之后,随着功率的增加,孔的精度改善很小。在稳定加工中,需降低电解液浓度和加工电压,从而减小杂散腐蚀,保证加工孔的形状精度。 展开更多
关键词 微孔 双膜侧壁绝缘 超声振动 电解加工
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双极性电泳法的微细中空电极侧壁绝缘层制备
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作者 孔全存 温杰超 +1 位作者 牛献礼 田元波 《机械设计与制造》 北大核心 2022年第1期299-303,共5页
针对孔径(100~200)μm高深宽比微细孔电解加工中,电极侧壁绝缘层在电解液冲击和气泡撕裂中易损伤/脱落等问题,提出一种基于丙烯酸环氧树脂双极性电泳法的微细中空电极侧壁绝缘制备工艺。通过工艺参数优化后,利用所制备的侧壁绝缘电极,... 针对孔径(100~200)μm高深宽比微细孔电解加工中,电极侧壁绝缘层在电解液冲击和气泡撕裂中易损伤/脱落等问题,提出一种基于丙烯酸环氧树脂双极性电泳法的微细中空电极侧壁绝缘制备工艺。通过工艺参数优化后,利用所制备的侧壁绝缘电极,开展加工对比实验,结果表明双极性电泳法所制备的侧壁绝缘层,具有较高的致密性、均匀性、耐久性和一致性,其性能符合微细电解加工对电极侧壁绝缘层的特殊要求。最后,在500μm厚304钢片上加工出入口约168.4μm、出口约165.8μm、锥度约为0.15°的高深宽比微细孔,其锥度降低了约60%以上,基本为直孔,可满足实际需求,进而验证了本方法的应用可行性。 展开更多
关键词 微细电解加工 侧壁绝缘 双极性电泳 中空电极 高深宽比 微小孔
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微细电解加工中空电极侧壁绝缘层的制备工艺研究 被引量:3
6
作者 温杰超 孔全存 +2 位作者 刘桂礼 牛献礼 田元波 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2020年第3期411-418,共8页
针对孔径100~200μm高深宽比微细孔电解加工中,电极侧壁绝缘层在电解液冲击和气泡撕裂中易损伤/脱落等问题,本文提出一种丙烯酸环氧树脂电泳法的中空电极侧壁绝缘制备工艺。通过优化工艺参数并开展加工实验,比较加工孔尺寸及形貌、加工... 针对孔径100~200μm高深宽比微细孔电解加工中,电极侧壁绝缘层在电解液冲击和气泡撕裂中易损伤/脱落等问题,本文提出一种丙烯酸环氧树脂电泳法的中空电极侧壁绝缘制备工艺。通过优化工艺参数并开展加工实验,比较加工孔尺寸及形貌、加工后电极表面形态,结果表明丙烯酸环氧树脂电泳法制备的中空电极侧壁绝缘层,具有较高的致密性、均匀性、耐久性和一致性。最后,在500μm厚304不锈钢片上加工出入口180.6μm、出口173.8μm、深宽比约为3的微细阵列孔,其锥度比非侧壁绝缘电极加工的孔减少了约70%以上,基本为直孔,可满足实际需求,进而验证了本方法的应用可行性。 展开更多
关键词 微细电解加工 中空电极 侧壁绝缘 丙烯酸环氧树脂 电泳 微细孔
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侧壁绝缘电极小孔电解加工工艺研究 被引量:4
7
作者 高峰 王津 +2 位作者 陈伟 徐成 韩福柱 《电加工与模具》 2014年第3期38-42,47,共6页
采用微弧氧化、电泳复合工艺成膜的侧壁绝缘电极,在不锈钢片工件上进行了一系列小孔电解加工实验。通过实验验证了该侧壁绝缘电极加工孔的精度,并在此基础上研究了加工电压、冲液压力对孔的成形精度的影响,以及陶瓷膜厚度和电泳膜厚度... 采用微弧氧化、电泳复合工艺成膜的侧壁绝缘电极,在不锈钢片工件上进行了一系列小孔电解加工实验。通过实验验证了该侧壁绝缘电极加工孔的精度,并在此基础上研究了加工电压、冲液压力对孔的成形精度的影响,以及陶瓷膜厚度和电泳膜厚度对电极耐久性的影响。结果表明:采用侧壁绝缘电极进行加工,可显著提高孔的成形精度;降低加工电压,可减小孔的侧面间隙,提高尺寸精度,孔的锥度受加工电压的影响较小;冲液压力对加工精度的影响不是很明显;陶瓷膜和电泳膜的厚度越大,电极耐久性越强。 展开更多
关键词 侧壁绝缘 小孔 电解加工
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双栅MOSFET沟道侧壁绝缘柱(DP)表面势解析模型 被引量:1
8
作者 李尚君 高珊 储晓磊 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期424-428,共5页
采用抛物线近似方法求解二维泊松方程,建立了漏端沟道侧壁绝缘柱表面电势解析模型。在该解析模型下,求解了不同漏压下的表面势,并与Atlas仿真结果做对比。比较了在相同条件下,DPDG MOSFET与DG MOSFET的沟道侧壁电势与电场分布。在不同... 采用抛物线近似方法求解二维泊松方程,建立了漏端沟道侧壁绝缘柱表面电势解析模型。在该解析模型下,求解了不同漏压下的表面势,并与Atlas仿真结果做对比。比较了在相同条件下,DPDG MOSFET与DG MOSFET的沟道侧壁电势与电场分布。在不同沟道长度下,分析了DPDG MOSFET器件的阈值电压(Vth),亚阈值斜率(SS)以及漏感应势垒降低效应(DIBL),并与DG MOSFET作对比。结果表明,添加绝缘柱DP后,不仅减小了源漏端电荷分享,而且增强了栅对电荷控制,从而改善了器件的DIBL效应,并有效提高了器件的可靠性。 展开更多
关键词 双栅内嵌绝缘柱金属氧化物半导体场效应晶体管 沟道侧壁绝缘 表面势 电荷分享 漏感应势垒降低效应
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侧壁绝缘电极的微槽电化学放电加工特性研究 被引量:3
9
作者 唐伟东 康小明 《电加工与模具》 2018年第4期35-39,共5页
在电化学放电加工中,电极浸没在溶液中的部分均会发生放电,其中侧壁区域的放电会对微槽加工产生不利影响,破坏加工表面质量。针对该问题,提出了一种金刚石涂层侧壁绝缘电极,分析了其电流-电压曲线特性,并进行了微槽加工实验。通过与传... 在电化学放电加工中,电极浸没在溶液中的部分均会发生放电,其中侧壁区域的放电会对微槽加工产生不利影响,破坏加工表面质量。针对该问题,提出了一种金刚石涂层侧壁绝缘电极,分析了其电流-电压曲线特性,并进行了微槽加工实验。通过与传统电极比较,发现电极侧壁绝缘后,其临界电压增大、临界电流减小。在微槽加工中,侧壁绝缘电极能有效提高加工精度和加工表面质量,故在高质量微槽加工中具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 电化学放电加工 侧壁绝缘电极 微槽
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微细中空电极流速测试及侧壁绝缘层制备工艺比较 被引量:1
10
作者 温杰超 孔全存 +2 位作者 李勇 钟浩 刘桂礼 《电加工与模具》 2019年第4期33-39,共7页
针对孔径100~200μm、采用中空供液工艺的高深宽比微细电解加工中,中空电极流速难以在线测量,侧壁绝缘层易出现损伤、脱落等问题,利用不同压力下流速雾化现象在光照下的差异性,建立压力-流速-雾化面积比关系曲线,实现在线流速测试并优... 针对孔径100~200μm、采用中空供液工艺的高深宽比微细电解加工中,中空电极流速难以在线测量,侧壁绝缘层易出现损伤、脱落等问题,利用不同压力下流速雾化现象在光照下的差异性,建立压力-流速-雾化面积比关系曲线,实现在线流速测试并优化了初始供液压力。通过比较加工孔和加工后电极表面形貌,优选出丙烯酸环氧树脂绝缘层制备工艺,并在304不锈钢片上加工出入口直径180.6μm、出口直径173.8μm、锥度约0.78°的阵列孔,验证了方法应用的可行性。 展开更多
关键词 微细电解加工 中空电极 流速测试 侧壁绝缘 电泳
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深小孔电解加工阴极侧壁绝缘层制备及试验
11
作者 钟紫鹏 苏国康 +2 位作者 李俊飞 王瑞祥 张永俊 《航空制造技术》 2024年第12期102-109,共8页
航空发动机零部件中存在大量深小孔,不仅孔径小、深径比大,而且要求孔表面没有再铸层,这些特点给孔的加工带来了很多困难。电解加工是一种有效的加工方法,针对大深径比小孔电解加工所用的阴极侧壁绝缘层制备困难,且使用过程中容易损坏... 航空发动机零部件中存在大量深小孔,不仅孔径小、深径比大,而且要求孔表面没有再铸层,这些特点给孔的加工带来了很多困难。电解加工是一种有效的加工方法,针对大深径比小孔电解加工所用的阴极侧壁绝缘层制备困难,且使用过程中容易损坏的问题,尝试了多种材料、多种方式的绝缘层制备方法,并对其在加工过程中的性能稳定性进行了试验研究,最终提出了一种基于弹性石英毛细管的新型多层复合绝缘层制备方法,并借助该方法制作管阴极,在不锈钢材料上成功加工出直径1.1 mm、深径比达181的深小孔。 展开更多
关键词 大深径比小孔 电解加工 侧壁绝缘 弹性石英毛细管 不锈钢
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铝电解槽碳化硅绝缘侧壁材料的耐蚀性 被引量:8
12
作者 王兆文 高炳亮 +1 位作者 赵冰洋 邱竹贤 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期345-347,共3页
研究了在有氧气存在的条件下碳化硅砖的抗腐蚀情况 ,测定了在不同温度下碳化硅砖在氧气流中的抗氧化情况 ,发现在 85 0℃和 75 0℃时的氧化情况差别不大 ,但明显好于 95 0℃时的氧化情况·观察了试样在 95 0℃时的动态腐蚀情况 ,发... 研究了在有氧气存在的条件下碳化硅砖的抗腐蚀情况 ,测定了在不同温度下碳化硅砖在氧气流中的抗氧化情况 ,发现在 85 0℃和 75 0℃时的氧化情况差别不大 ,但明显好于 95 0℃时的氧化情况·观察了试样在 95 0℃时的动态腐蚀情况 ,发现在有氧气存在的条件下 ,碳化硅砖在电解质中的腐蚀速度明显加快·因此认为在 75 0~ 85 0℃的低温电解是新型惰性电极电解槽的首选工艺· 展开更多
关键词 碳化硅砖 铝电解槽 腐蚀 氧化 冶炼 耐蚀性 绝缘材料
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提高小孔电解加工精度的试验研究 被引量:2
13
作者 刘壮 刘燕 +1 位作者 王维 曲宁松 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2009年第3期380-385,共6页
金属结构小孔在航空航天等领域中有大量应用,而电解加工是一种比较理想的小孔加工工艺。本文根据小孔电解加工的特点,采用侧壁绝缘成型金属管电极,在普通电解机床及直流电源加工基础上进行了提高小孔加工精度的试验研究,分析了侧壁绝缘... 金属结构小孔在航空航天等领域中有大量应用,而电解加工是一种比较理想的小孔加工工艺。本文根据小孔电解加工的特点,采用侧壁绝缘成型金属管电极,在普通电解机床及直流电源加工基础上进行了提高小孔加工精度的试验研究,分析了侧壁绝缘与否、电流密度、阴极进给速度和阴极进给深度对小孔加工间隙的影响。结果表明:采用侧壁绝缘的阴极可加工出近似零锥度的小孔,采用小的电压和较大的阴极进给速度有利于减小小孔的侧面加工间隙,提高孔的加工精度。 展开更多
关键词 小孔 电解加工 阴极侧壁绝缘 加工精度
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微小孔电火花电解复合加工关键技术研究 被引量:3
14
作者 刘斌 吴强 成哲 《电加工与模具》 2019年第4期29-32,共4页
针对发动机关键零件精密群小孔加工中易形成的再铸层和微裂纹问题,进行了电火花电解复合加工研究。筛选复合加工工作液,优化复合加工电压,采用侧壁绝缘电极及软质导向器,使电火花加工在去除工件材料方面发挥主导作用,电解效应在提高表... 针对发动机关键零件精密群小孔加工中易形成的再铸层和微裂纹问题,进行了电火花电解复合加工研究。筛选复合加工工作液,优化复合加工电压,采用侧壁绝缘电极及软质导向器,使电火花加工在去除工件材料方面发挥主导作用,电解效应在提高表面质量、降低重熔层方面发挥辅助作用,以达到电火花加工-电解效应综合平衡。 展开更多
关键词 电火花电解复合加工 侧壁绝缘电极 软质导向器
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微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验
15
作者 刘国栋 李勇 +2 位作者 孔全存 佟浩 钟昊 《电加工与模具》 2017年第5期26-30,66,共6页
提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。初步实验得到电极加工部尺寸约为... 提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。初步实验得到电极加工部尺寸约为100μm,绝缘层厚度为800 nm的硅工具电极。利用高速旋转的微细硅工具电极在18Cr Ni8材料上加工出了微细沟槽结构和微细通孔。实验结果验证了侧壁绝缘层对杂散腐蚀抑制作用的有效性。经过96 min的持续加工实验,电极绝缘层保持了可靠的绝缘效果。 展开更多
关键词 微细电解加工 微细硅工具电极 侧壁绝缘 体硅湿法腐蚀
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微细电极制备方法研究 被引量:1
16
作者 黄绍服 许聪聪 《机械研究与应用》 2020年第4期198-201,共4页
微细工具电极在电火花和电解加工中起到关键作用。对微细工具电极的制备方法:反拷法、线电极电火花磨削法以及电化学腐蚀法进行了分析,同时研究了不同方法在异形微细电极制备过程中的应用,在此基础上总结了微细工具电极绝缘层制备方法... 微细工具电极在电火花和电解加工中起到关键作用。对微细工具电极的制备方法:反拷法、线电极电火花磨削法以及电化学腐蚀法进行了分析,同时研究了不同方法在异形微细电极制备过程中的应用,在此基础上总结了微细工具电极绝缘层制备方法。通过对电极和绝缘层制备方法的研究,为新式异形工具电极的设计和制备提供技术借鉴,对微细工具电极的结构创新及更高精度的微孔加工具有重要意义。 展开更多
关键词 微细工具电极 侧壁绝缘 制备方法
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中国铝工业应用新型电极材料的研究与展望 被引量:8
17
作者 邱竹贤 《中国工程科学》 2001年第5期50-54,共5页
介绍了现代铝工业上新近开发研制的几种电极材料 ,涉及惰性阴极、惰性阳极、双极性电极等 ;还研制了低温电解质 ,使电解温度降低到 80 0~ 90 0℃。如果惰性电极与低温电解质配合起来应用 ,则能够明显减少工业铝生产中的物料消耗 ,节省... 介绍了现代铝工业上新近开发研制的几种电极材料 ,涉及惰性阴极、惰性阳极、双极性电极等 ;还研制了低温电解质 ,使电解温度降低到 80 0~ 90 0℃。如果惰性电极与低温电解质配合起来应用 ,则能够明显减少工业铝生产中的物料消耗 ,节省电能 ,增大电解槽生产能力 ,并改善环境状况 。 展开更多
关键词 惰性阳极 惰性阴极 电极材料 SIC 绝缘 冶炼 电解 碳化硅
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基于间隙阻抗的微细孔电解加工伺服控制
18
作者 牛献礼 孔全存 +1 位作者 刘桂礼 祝福莉 《电加工与模具》 2020年第5期31-35,共5页
为提高直径在100~200μm微细孔的电解加工效率,从间隙控制的角度出发,采用侧壁绝缘电极、高压中空冲液和高频脉冲电源的加工工艺下,建立微细孔加工模型,提出了基于间隙阻抗的微细孔电解加工的伺服控制方法,并对比恒速进给模型、平均电... 为提高直径在100~200μm微细孔的电解加工效率,从间隙控制的角度出发,采用侧壁绝缘电极、高压中空冲液和高频脉冲电源的加工工艺下,建立微细孔加工模型,提出了基于间隙阻抗的微细孔电解加工的伺服控制方法,并对比恒速进给模型、平均电压电流的伺服控制方法,对微细孔的电解加工间隙进行控制。实验表明,基于间隙阻抗的微细孔模型伺服控制方法加工时间短、加工效率高,所得孔的出、入口尺寸小。 展开更多
关键词 电解加工 微细孔 侧壁绝缘中空电极 间隙阻抗 伺服控制
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炼铝用新型电极材料 被引量:1
19
作者 邱竹贤 《沈阳工业学院学报》 2000年第4期1-6,共6页
介绍了现代铝工业新近开发研制的几种电极材料 ,其中包括惰性阴极、惰性阳极、双极性电极和绝缘侧壁 ,以及它们的功能和发展前景 .
关键词 电解 惰性电极 绝缘 炼铝 电极材料 碳化硅
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Analytical solutions for MHD flow at a rectangular duct with unsymmetrical walls of arbitrary conductivity 被引量:2
20
作者 TAO Zhen NI MingJiu 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期64-81,共18页
For MHD flows in a rectangular duct with unsymmetrical walls, two analytical solutions have been obtained by solving the governing equations in the liquid and in the walls coupled with the boundary conditions at fluid... For MHD flows in a rectangular duct with unsymmetrical walls, two analytical solutions have been obtained by solving the governing equations in the liquid and in the walls coupled with the boundary conditions at fluid-wall interface. One solution of 'Case I' is for MHD flows in a duct with side walls insulated and unsymmetrical Hartmann walls of arbitrary conductivity, and another one of 'Case II' is for the flows with unsymmetrical side walls of arbitrary conductivity and Hartmann walls perfectly conductive.The walls are unsymmetrical with either the conductivity or the thickness different from each other. The solutions, which include three parts, well reveal the wall effects on MHD. The first part represents the contribution from insulated walls, the second part represents the contribution from the conductivity of the walls and the third part represents the contribution from the unsymmetrical walls. The solution is reduced to the Hunt's analytical solutions when the walls are symmetrical and thin enough. With wall thickness runs from 0 to∞, there exist many solutions for a fixed conductance ratio. The unsymmetrical walls have great effects on velocity distribution. Unsymmetrical jets may form with a stronger one near the low conductive wall, which may introduce stronger MHD instability. The pressure gradient distributions as a function of Hartmann number are given, in which the wall effects on the distributions are well illustrated. 展开更多
关键词 矩形风管 不对称 MHD 解析解 传导 流体流动 绝缘
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