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CdIn_2O_4薄膜的AES分析 被引量:1
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作者 陈长勇 廖克俊 王万录 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第1期93-96,共4页
利用AES方法研究了CdIn2O4膜的成分分布。膜中的Cd、In和O成份随O浓度的变化而变化,并对股的电学性质有重要影响。
关键词 俄欧谱 CdIn_2O_4薄膜 射频溅射
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