丝网印刷法制备GPP芯片工艺

玻璃钝化类器件(Glassivation Passivation Parts,GPP)是在普通硅整流扩散片的基础上对拟分割的管芯P/N结面四周烧制1层玻璃,由于玻璃与单晶硅有很好的结合特性,使P/N结可获得最佳保护,提高器件的稳定性。文章通过试验完成了丝网印刷法的工业化生产,确定了丝网印刷保护层浆料工艺、丝网印刷玻璃层浆料工艺和丝网印刷玻璃层的烘干工艺,实现了丝网印刷法制备GPP芯片25万片/月的工业化生产能力。