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题名基于LVDT的台阶信号拾取方法研究
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作者
白立芬
李庆祥
薛实福
于水
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2000年第7期37-38,46,共3页
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文摘
大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点残余电压的影响 ,并消除测量机构本身固有的二次项误差 ,提高了仪器的测量精度。实验表明 ,该仪器垂直方向测量分辨率可达 0 .5 μm ,重复测量精度为± 0 0 1 5 μm .
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关键词
台阶测量仪
集成电路
LVDT传感器
信号拾取方法
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Keywords
Transducer, Step Measurement, Compensation
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分类号
TN407
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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