离轴自由曲面三镜反射系统的装调技术

针对离轴自由曲面三镜反射系统,采用了基准传递技术和计算机辅助装调技术相结合的装调方法。基准传递过程中基于计算全息建立了一套完整、精确的空间基准来保证初装调质量;在此基础上,计算机辅助装调过程中采用自准干涉检验法获得多个视场干涉图,像差用方形域上正交修正泽尼克多项式系数表征,利用Zemax软件和方形域上正交修正泽尼克多项式得到系统的灵敏度矩阵,求解失调量;在多次迭代后得到系统平均波像差均方根值为0.1641λ(λ=632.8nm),调制传递函数平均值为0.4534。