修正环型纳米级超精密抛光机智能控制系统的实现

针对现阶段抛光加工存在精度低、产品质量一致性差、成品率及生产效率低等问题 ,提出了一种适于高精度、高效率抛光加工的智能控制系统 。

纳米级超精密抛光机控制系统的研制

简述超精密加工技术现状 ,介绍超精密平面抛光机的工作原理 ,分析达到纳米级超精密抛光的技术难点 ,并阐述了纳米级超精密抛光智能控制系统的实现。

智能型纳米级抛光机的运动分析

分析了智能型纳米级抛光机运动的设计原理 ,使工件加工表面各点相对于抛光盘的抛光线速度相等 ,且工件表面各点运动轨迹不重复 ;提出了“低速起动—无级提速—恒速加工—低速修整—低速停止”的加工运动模式 ,采用光栅测量和微机控制技术 ,将抛光盘总转数的精度控制在± 0 .5°以内 ,保证加工余量去除误差在 1nm以内 ,结合合理的加工工艺 。