-
题名感应耦合等离子体刻蚀在聚合物光波导制作中的应用
被引量:9
- 1
-
-
作者
张琨
岳远斌
李彤
孙小强
张大明
-
机构
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室
-
出处
《中国光学》
EI
CAS
2012年第1期64-70,共7页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(No.61077041
60807029)
+5 种基金
吉林省科技发展计划资助项目(No.20090352
20070522)
吉林大学基本科研业务费专项资金资助项目(No.200810028
200905005)
吉林大学科学前沿与交叉学科创新项目(No.201100253)
集成光电子学国家重点联合实验室开放课题(IOSKL-KFKT-11)联合资助项目
-
文摘
提出了利用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术提高聚合物光波导器件性能的方法,介绍了ICP刻蚀技术的原理和优点。选取聚甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸环氧丙酯(P(MMA-GMA))作为波导材料,采用氧气作为刻蚀气体,研究了ICP参数变化对刻蚀效果的影响。介绍了倒脊形光波导的制备过程,采用改变单一工艺参数的方法,分析了刻蚀效果随时间、功率、压强、气体流量等参数的变化,对参数优化后刻蚀得到的凹槽和平板结构进行了表征。实验结果表明:在天线射频功率为300 W,偏置射频功率为30 W,气体压强为0.5 Pa,氧气流速为50 cm3/min的条件下,可获得侧壁陡直、底面平整的P(MMA-GMA)凹槽结构。
-
关键词
聚合物光波导
倒脊形光波导
感应耦合等离子体(ICP)刻蚀
-
Keywords
polymer optical waveguide
inverted ridge optical waveguide
Inductively Coupled Plasma(ICP) etching
-
分类号
TN252
[电子电信—物理电子学]
TN405.98
[电子电信—微电子学与固体电子学]
-