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高精度倒装焊机光学对位系统研制及算法研究
被引量:
1
1
作者
韩冰
马洪涛
+3 位作者
许洪刚
闫瑛
鞠德晗
赵纯玉
《中国光学(中英文)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期587-595,共9页
针对国内红外焦平面倒装焊机对高精度光学对位系统的迫切需求,对光学对位系统进行了设计及验证,并对该系统用到的平行调整、光学对位及坐标系误差补偿算法进行研究。文章首先对倒装焊接光学对位工艺进行分析;然后对平行性调整及光学对...
针对国内红外焦平面倒装焊机对高精度光学对位系统的迫切需求,对光学对位系统进行了设计及验证,并对该系统用到的平行调整、光学对位及坐标系误差补偿算法进行研究。文章首先对倒装焊接光学对位工艺进行分析;然后对平行性调整及光学对位算法进行介绍,并根据光学对位系统测试流程,提出更加合理的误差补偿算法;最后,以上述算法为理论依据,设计光学对位系统,其包括准直系统、显微成像系统和激光测距三部分。所设计的光学系统可实现平行性粗调,特征点识别及平行性精调功能。试验结果表明,准直系统准直效果较好,显微成像系统分辨率高,成像质量较好,激光测距系统的测距精度为0.084μm。设计的高精度光学对位系统解决了国内红外焦平面倒装焊机对高精度光学对位系统的迫切需求,已经在国内某型号的倒装焊机中得到应用,对于提高国产高端集成电路的自主研发和生产能力具有非常重要的意义。
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关键词
红外
焦
平面
倒装
焊机
光学对位系统
平行调整
激光测距
下载PDF
职称材料
马钢13号高炉使用直供焦的生产实践
2
作者
赵淑文
程朝晖
周琨
《安徽冶金》
2013年第4期23-25,共3页
对马钢一铁总厂13号高炉使用焦炭由倒装改直供的生产实践进行总结。由于降本需要一铁总厂从2013年3月份开始逐步将倒装焦改为直供焦,通过强化槽下管理,对高炉进行上下部调剂,顺利实现了倒装焦到直供焦的平稳过渡,取得了良好的经济效益。
关键词
高炉
倒装焦
直供
焦
上下部调剂
下载PDF
职称材料
题名
高精度倒装焊机光学对位系统研制及算法研究
被引量:
1
1
作者
韩冰
马洪涛
许洪刚
闫瑛
鞠德晗
赵纯玉
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国电子科技集团公司第二研究所
吉林江机特种工业有限公司
出处
《中国光学(中英文)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期587-595,共9页
基金
吉林省重点科技研发项目(No.20200401047GX)。
文摘
针对国内红外焦平面倒装焊机对高精度光学对位系统的迫切需求,对光学对位系统进行了设计及验证,并对该系统用到的平行调整、光学对位及坐标系误差补偿算法进行研究。文章首先对倒装焊接光学对位工艺进行分析;然后对平行性调整及光学对位算法进行介绍,并根据光学对位系统测试流程,提出更加合理的误差补偿算法;最后,以上述算法为理论依据,设计光学对位系统,其包括准直系统、显微成像系统和激光测距三部分。所设计的光学系统可实现平行性粗调,特征点识别及平行性精调功能。试验结果表明,准直系统准直效果较好,显微成像系统分辨率高,成像质量较好,激光测距系统的测距精度为0.084μm。设计的高精度光学对位系统解决了国内红外焦平面倒装焊机对高精度光学对位系统的迫切需求,已经在国内某型号的倒装焊机中得到应用,对于提高国产高端集成电路的自主研发和生产能力具有非常重要的意义。
关键词
红外
焦
平面
倒装
焊机
光学对位系统
平行调整
激光测距
Keywords
infrared focal plane flip chip bonder
optical alignment system
parallel adjustment
laser ranging
分类号
TN605 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
马钢13号高炉使用直供焦的生产实践
2
作者
赵淑文
程朝晖
周琨
机构
马鞍山钢铁股份有限公司
出处
《安徽冶金》
2013年第4期23-25,共3页
文摘
对马钢一铁总厂13号高炉使用焦炭由倒装改直供的生产实践进行总结。由于降本需要一铁总厂从2013年3月份开始逐步将倒装焦改为直供焦,通过强化槽下管理,对高炉进行上下部调剂,顺利实现了倒装焦到直供焦的平稳过渡,取得了良好的经济效益。
关键词
高炉
倒装焦
直供
焦
上下部调剂
Keywords
BF inverted-charge of coke direct-charge of coke adjustment of upper and lower parts
分类号
TF538.63 [冶金工程—钢铁冶金]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高精度倒装焊机光学对位系统研制及算法研究
韩冰
马洪涛
许洪刚
闫瑛
鞠德晗
赵纯玉
《中国光学(中英文)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
下载PDF
职称材料
2
马钢13号高炉使用直供焦的生产实践
赵淑文
程朝晖
周琨
《安徽冶金》
2013
0
下载PDF
职称材料
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