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倒锥形抗反射表面微结构的构筑
1
作者
郝娟婷
何大澄
郝娟媛
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期361-364,共4页
利用Langmuir-Blodgett(LB)技术在单晶硅表面转移岛状硬脂酸单层膜图案,通过各向异性的湿法刻蚀构筑倒锥形表面微结构.倒锥形结构的深度及表面抗反射性能主要与刻蚀的时间有关.这种方法结合了自组装面积大和湿法刻蚀成本低的优点,是一...
利用Langmuir-Blodgett(LB)技术在单晶硅表面转移岛状硬脂酸单层膜图案,通过各向异性的湿法刻蚀构筑倒锥形表面微结构.倒锥形结构的深度及表面抗反射性能主要与刻蚀的时间有关.这种方法结合了自组装面积大和湿法刻蚀成本低的优点,是一种廉价、高效的制备大面积抗反射微结构的方法,在降低光学器件和太阳能电池的成本方面具有潜在应用价值.
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关键词
LB单层膜
倒锥形微结构
单晶硅
抗反射
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职称材料
题名
倒锥形抗反射表面微结构的构筑
1
作者
郝娟婷
何大澄
郝娟媛
机构
北京师范大学细胞增殖与调控教育部重点实验室
吉林大学化学学院
出处
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期361-364,共4页
基金
国家自然科学基金(批准号:20773052)
国家“九七三”计划项目(批准号:2009CB939701)资助
文摘
利用Langmuir-Blodgett(LB)技术在单晶硅表面转移岛状硬脂酸单层膜图案,通过各向异性的湿法刻蚀构筑倒锥形表面微结构.倒锥形结构的深度及表面抗反射性能主要与刻蚀的时间有关.这种方法结合了自组装面积大和湿法刻蚀成本低的优点,是一种廉价、高效的制备大面积抗反射微结构的方法,在降低光学器件和太阳能电池的成本方面具有潜在应用价值.
关键词
LB单层膜
倒锥形微结构
单晶硅
抗反射
Keywords
LB monolayer
Inverted pyramidal microstructure
Single crystal silicon
Antireflection
分类号
O647 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
倒锥形抗反射表面微结构的构筑
郝娟婷
何大澄
郝娟媛
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
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