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倾斜相移闭合干涉图的非迭代相位提取方法(英文)
被引量:
2
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作者
徐建程
侯园园
陈曌
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期1-6,共6页
针对带倾斜相移误差的闭合干涉图,提出一种非迭代的高精度相位提取方法.该方法用傅里叶变换估计闭合条纹的相位,并用图像分割校正相位的符号,然后利用Zernike多项式拟合确定倾斜相移量,最后用最小二乘拟合得到高精度相位.数值模拟结果表...
针对带倾斜相移误差的闭合干涉图,提出一种非迭代的高精度相位提取方法.该方法用傅里叶变换估计闭合条纹的相位,并用图像分割校正相位的符号,然后利用Zernike多项式拟合确定倾斜相移量,最后用最小二乘拟合得到高精度相位.数值模拟结果表明:该方法的相位提取误差随着干涉图中条纹根数的增多而减小;当干涉图中条纹根数为4.5时,倾斜相移的估计误差为0.37%.实验结果表明该方法的残余误差均方根值为0.121 7rad.该方法精度高,且无需迭代计算,可应用于相移干涉测量.
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关键词
相移
干涉测量
条纹分析
傅里叶变换
闭合干涉图
倾斜相移误差
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职称材料
题名
倾斜相移闭合干涉图的非迭代相位提取方法(英文)
被引量:
2
1
作者
徐建程
侯园园
陈曌
机构
浙江师范大学信息光学研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期1-6,共6页
基金
The National Natural Science Foundation of China(No.61205163)
Marie Curie International Incoming Fellowships(No.301807)by the Research Executive Agency of the European Commission
文摘
针对带倾斜相移误差的闭合干涉图,提出一种非迭代的高精度相位提取方法.该方法用傅里叶变换估计闭合条纹的相位,并用图像分割校正相位的符号,然后利用Zernike多项式拟合确定倾斜相移量,最后用最小二乘拟合得到高精度相位.数值模拟结果表明:该方法的相位提取误差随着干涉图中条纹根数的增多而减小;当干涉图中条纹根数为4.5时,倾斜相移的估计误差为0.37%.实验结果表明该方法的残余误差均方根值为0.121 7rad.该方法精度高,且无需迭代计算,可应用于相移干涉测量.
关键词
相移
干涉测量
条纹分析
傅里叶变换
闭合干涉图
倾斜相移误差
Keywords
Phase shifting interferometry
Fringe pattern analysis
Fourier transform method
Closed interferogram
Tilt-shift error
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
倾斜相移闭合干涉图的非迭代相位提取方法(英文)
徐建程
侯园园
陈曌
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
2
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