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IDT/AlN/LiNbO_3结构声表面波滤波器模拟和分析 被引量：1
1
作者 李健雄 杨成韬 +2 位作者 王锐 陈运祥 张树人 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第6期655-657,共3页
研究了IDT/AlN/LiNbO3结构声表面波滤波器的频散特性,发现了高机电耦合系数(>18%),高声速(>10 km/s)的纵向假声表面波模式。对研究得到的二次模进行了归一化插入损耗频率响应的模拟,其结果与文献报道的实验结果基本一致。
关键词 声表面波 ALN薄膜 假声表面波 模拟
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