双偏置式万向节钢球径向位移的解析及保持架窗孔的设计

根据双偏置式万向节的结构特征,通过两轴转角时运动机理的分析,推导并计算出沿圆周均布的每一钢球在其相应的星形套和筒形壳沟道内,沿径向(偏心保持架圆形窗孔的直径方向)的位移量,进而系统、准确地探寻出该万向节偏心保持架圆形窗孔的设计与计算方法,并举例说明。

定偏心平面研磨均匀性研究

对修正环形抛光机CMP过程进行运动分析,给出研磨盘上一点相对于工件的速度矢量与轨迹方程。详细讨论研磨盘上不同位置的点的相对轨迹,通过对相对速度的讨论发现,当研磨盘与工件具有相同的角速度时,有利于工件平面度的提高。重点分析开螺旋槽的研磨盘对工件平面度的影响,提出用偏心保持架装置替代同心保持架装置,有利于工件平面度提高。实验结果与理论分析相符。

平面抛光中磨粒运动轨迹仿真研究

对修整环形抛光机平面抛光过程进行了运动分析,给出了抛光垫上某一点相对于试件的速度矢量与轨迹方程。通过对相对速度的讨论发现,当抛光垫与试件具有相同的角速度时,有利于试件平面度的提高。详细讨论了抛光垫上不同位置点的相对轨迹,这些轨迹可以视为试件表面形成的划痕。重点描述了开螺旋槽的抛光垫对试件平面度的影响,提出用偏心保持架装置替代目前的同心保持架装置,有利于试件平面度提高。实验结果与理论分析相符。